上海
EBSD制样
EBSD测试对样品的要求是比较高的，因为需要的得到清晰的衍射花纹用于分析，如果样品表面有较多的残余应力或者不配平整，就会影响花纹产生和收集，因此在上机之前，对EBSD的样品是需要经过处理之后才能做的，本次我们来说说需要制备到什么情况才能上机，并且制备样品的好坏在最后测试的时候会产生什么样的影响。
01
样品需要光滑无瑕疵
对于EBSD来说，样品需要足够的光滑，这个光滑不是一般看着平整就可以而是需要达到反光，甚至镜面的程度。一般的光滑是完全不行的，例如下图所示：这个是用砂纸打磨得反光之后的材料表面，在上到显微镜下后可以看到很多的划痕，这个其实就是抛光颗粒留下的。
有这种划痕的样品在测试时候会导致很多无法得到信息。
机械砂纸打磨抛光后的显微镜图像
样品制备时候的好坏可以说完全决定了最后测试的结果：如下图所示：左侧抛光不好的样品在测试时候菊池线完全不清晰，而右侧样品跑航好的可以看到很清晰的菊池线的信息。而菊池线的好坏就决定了最后结果的好坏。
（抛光差）
（抛光好）
可以说好的样品做好抛光的前处理，基本上实验就成功了一大半。判断抛光效果的好与坏我们可以直接在SEM上通不过形貌观察看到左侧在SEM下能看到坑坑洼洼的就是不行的，右面光洁平整的就是好的。
（效果好）
（效果差）
一般针对不用的样品，有很多方法可以用，每种方法也都有各自的特点需要根据情况选择。
02
常见的抛光手段
1、机械抛光（振动抛光）：适合金属材料，薄片，薄膜等材料，利用振动能打磨样品表面，能有效去除残余应力的影响。
2、电解抛光：将金属样品放置于阳极，结合抛光液，在表面进行均一的腐蚀后形成光洁的镜面。
3、化学抛光：常结合一般的机械抛光，用特制抛光液，结合机械方式，在表面先腐蚀后打磨。
4、氩离子抛光：用氩离子在材料表面打去一些薄薄的一层，抛光精度最高。
5、FIB：适合做截面或者对特定位置的样品挖取一块用于研究的时候。
以上的一些常见的抛光手段，根据样品的不用一般可以采用不同的办法，只要能达到足够的光洁度。至于每种处理方式具体如何实施，适用什么样品，这些在之后再详细介绍一下
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