北京
分享至
国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“SEM图像的对齐方法及相关产品”的专利，公开号CN122492768A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明提供了一种SEM图像的对齐方法及相关产品。对齐方法包括获取晶圆的设计版图，以及对晶圆进行采集得到的SEM图像；在SEM图像中确定出亮暗交替排列的多条亮条纹和暗条纹；在多条亮条纹中确定出目标亮条纹，并获取位于目标亮条纹两侧的预设宽度范围内各自的灰度变化趋势；基于灰度变化趋势，确定与目标亮条纹相邻的两暗条纹各自的轮廓类型；基于轮廓类型，将设计版图与SEM图像对齐。本方法能够在SEM图像中栅线图像和背景图像的灰度较为接近甚至相同的情况下，准确地提取SEM图像中栅线图像和背景图像的轮廓信息，提高了SEM图像与设计版图对齐效果。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
