北京
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国家知识产权局信息显示，上海新昇半导体科技有限公司取得一项名为“三通阀结构及清洗设备”的专利，授权公告号CN224579821U，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种三通阀结构及清洗设备，三通阀结构应用于半导体清洗设备，三通阀结构包括：阀体，具有相对设置的输入端口和输出端口，其中，输出端口包括在第一方向上间隔设置的第一输出端口和第二输出端口，隔离件，设置于阀体内并与阀体的内壁至少部分地连接，隔离件位于第一输出端口和第二输出端口之间，将阀体内部空腔分割为第一流通区和第二流通区，第一流通区连通输入端口的第一部分和第一输出端口，第二流通区连通输入端口的第二部分和第二输出端口，第一流通区和第二流通区内的液体流速趋于一致。本申请实施例的三通阀结构出口处流出清洗液的流量一致，三通阀结构可以实现稳定分流，从而保障清洗的效果。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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