北京
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国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种原子层沉积系统”的专利，授权公告号CN224578343U，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本实用新型公开的原子层沉积系统，包括臭氧发生器、腔体、厂务端、可调节单元和管路压力计，臭氧发生器通过第一管路连通腔体，腔体通过第二管路连通金属源前驱体容器，金属源前驱体通过第二管路进入腔体，臭氧发生器通过第三管路连通厂务端，第三管路与第一管路连通，可调节单元设置于第三管路上，可调节单元包括第一抽气装置，管路压力计设置于第一管路上且位于第三管路的下游。本实用新型公开的原子层沉积系统，通过在第三管路上设置可调节单元，能够降低从金属源前驱体半反应切换至臭氧半反应时较高压降和高压冲击带来的风险，减少反应过程中的气流对冲，保证原子沉积反应的顺利进行。相比于现有技术中采用流量控制器的方案，能够降低成本。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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