北京
分享至
国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“减弱高驱动频率下PECVD设备驻波效应的方法及系统”的专利，公开号CN122484724A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明提供一种减弱高驱动频率下PECVD设备驻波效应的方法及系统，该方法包括：S1：在沉积区域内设定目标电场强度分布及电场均匀性目标阈值；S2：建立腔室电磁场计算模型，并在初始平面电极结构下计算初始电场分布；S3：根据目标电场强度分布利用局部间距与电场强度的关系反解出多个离散采样点处的电极最佳间距值；S4：对最佳间距值进行拟合生成表征电极间距分布的参数化函数；S5：基于参数化函数生成电极三维曲面模型并仿真获取当前电场分布及均匀性指标；S6：判断是否满足目标阈值，若满足则制备上电极板，否则调整配置参数并返回步骤S4迭代优化。本发明实现了电场分布的精确优化，有效减弱驻波效应。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
