国家知识产权局信息显示,江苏路芯半导体技术有限公司申请一项名为“光掩膜图形位置检测方法”的专利,公开号CN122469573A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了光掩膜图形位置检测方法,属于半导体制造领域。包括构建由多个光掩膜样本的多模态图像及物理坐标标注组成的多任务训练数据集;构建由双流残差空间缩减交叉注意力特征提取网络、不确定性回归网络和策略网络组成的主动检测模型,以宽场紫外图像特征为查询、经空间缩减的电子束图像特征为键和值进行跨模态融合,并以概率分布形式表征位置估计及其不确定性;通过基于近端策略优化的模型无关元学习算法进行离线训练,获得可跨掩膜快速适应的元初始化参数;在线检测时加载元参数并通过主动扫描和在线微调迭代优化位置估计。本发明能够兼顾定位精度、检测效率和对新光掩膜图形的泛化能力。
天眼查资料显示,江苏路芯半导体技术有限公司,成立于2023年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54500万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏路芯半导体技术有限公司参与招投标项目42次,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可19个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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