国家知识产权局信息显示,瑞泓精创科技(东莞)有限公司申请一项名为“一种高附着力金属氧化物镀膜方法”的专利,公开号CN122466469A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明涉及材料表面技术领域,且公开了一种高附着力金属氧化物镀膜方法,旨在解决传统镀膜工艺在多种基底上附着力不足、致密性差及难以兼容低温柔性基材的问题。该方法包括:对基底进行氧氩等离子体活化以生成高密度活性羟基;采用原子层沉积形成金属前驱体层;通过低温等离子体辅助氧化原位转化为致密初始膜层;再以磁控溅射沉积主功能金属氧化物膜层;最后进行梯度退火处理以释放应力并优化晶格结构。本申请通过上述多步协同工艺,实现了膜层与基底间的化学键合主导结合,显著提升附着力与致密性,适用于硅片、玻璃、不锈钢及聚酰亚胺等多种平面或曲面基底,且工艺兼容性强,可满足半导体、显示及柔性电子器件的规模化生产需求。
天眼查资料显示,瑞泓精创科技(东莞)有限公司,成立于2024年,位于东莞市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,瑞泓精创科技(东莞)有限公司参与招投标项目2次,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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