北京
国家知识产权局信息显示，湖南普照信息材料有限公司申请一项名为“一种光掩模基板镀膜前的基板温度控制方法”的专利，公开号CN122469963A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明涉及基板温度控制技术领域，具体涉及一种光掩模基板镀膜前的基板温度控制方法，通过实时采集得到的镀膜设备的发热温度，以及基板的表面温度和环境温度，结合基板的热物性参数在三维动态热网络模型上进行热场计算，预测基板在镀膜设备发热影响下的目标未来温度场分布；依据目标未来温度场分布和目标基板温度，计算基板上每一基板子区域所需的热补偿信号；根据热补偿信号，控制集成于基板上的热补偿阵列对基板进行分区热补偿处理，并获取分区热补偿处理的控制数据；基于当前采集得到的实时发热温度、实时表面温度、实时环境温度和控制数据，对三维动态热网络模型和热补偿信号的映射规则进行更新，解决了镀膜设备发热对基板造成的热干扰问题。
天眼查资料显示，湖南普照信息材料有限公司，成立于2003年，位于长沙市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本99278.6058万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南普照信息材料有限公司参与招投标项目663次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息86条，此外企业还拥有行政许可62个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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