国家知识产权局信息显示,无锡福塔尼光集成芯片科技有限公司取得一项名为“一种光分波导以及刻蚀掩模版”的专利,授权公告号CN224569307U,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种光分波导刻蚀掩模版及分光波导。掩模版包括本体,其上设置有第一图案区和第二图案区。第一图案区包含用于形成分光波导的多个光栅图案,第二图案区包含多个虚设凹槽图案,且凹槽图案宽度与光栅图案相同。通过设置虚设凹槽图案,平衡了刻蚀过程中的微负载效应,提高了光栅刻蚀深度与形貌的均匀性。
天眼查资料显示,无锡福塔尼光集成芯片科技有限公司,成立于2025年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡福塔尼光集成芯片科技有限公司专利信息1条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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