国家知识产权局信息显示,极瞳生命科技(苏州)有限公司;广州国家实验室取得一项名为“SPR检测芯片用蒸镀装置”的专利,授权公告号CN224564673U,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本实用新型公开一种SPR检测芯片用蒸镀装置,包括旋转柱、挂架和隔离罩,旋转柱与旋转驱动装置传动连接,为中空结构,其外侧面上设有若干层外扇叶组,内侧面上设有若干层内扇叶组,外扇叶组的叶片倾斜方向与内扇叶组的叶片倾斜方向相反,外扇叶组用于形成向上的气流,内扇叶组用于形成向下的气流;挂架设置于旋转柱的外侧面上,用于悬挂固定待蒸镀工件;隔离罩为顶部封闭、底部开口的罩体结构,罩设于旋转柱的外侧,隔离罩上设有蒸镀介质入口。本实用新型通过循环气流实现蒸镀介质的均匀包覆,能够稳定形成超薄、均匀、无沉积死区的镀层,有效改善SPR检测芯片的镀层质量。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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