北京
国家知识产权局信息显示，江苏永鼎股份有限公司申请一项名为“一种DFB激光器量子阱有源区横向侧壁钝化刻蚀工艺”的专利，公开号CN122456303A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种DFB激光器量子阱有源区横向侧壁钝化刻蚀工艺。向刻蚀腔室内通入主刻蚀气体进行垂直方向的主刻蚀；在主刻蚀过程中实时获取原位监测参数，当参数出现表征横向钻刻开始的特征变化时生成触发信号；响应于触发信号，维持主刻蚀气体通入的同时同步通入侧壁钝化气体并调节其流量，直至参数达到表征钝化层稳定生成的稳定状态；在该状态下基于参数实时波动动态调节钝化气体流量，以维持抑制状态；计算有源区当前横向物理尺寸，当其达到设计尺寸并进入自然收敛区间时判断尺寸锁定完成；停止通入所有气体，完成无损伤刻蚀。本发明能从源头阻断横向钻刻，实现有源区横向尺寸的精确锁定和无损伤刻蚀。
天眼查资料显示，江苏永鼎股份有限公司，成立于1994年，位于苏州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本146199.4802万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏永鼎股份有限公司共对外投资了36家企业，参与招投标项目299次，专利信息755条，此外企业还拥有行政许可93个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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