恒运昌申请电弧抑制方法相关专利，该方法可高效稳优抑制电弧并护设备运行

来源：新浪证券-红岸工作室

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“一种电弧抑制优化方法”的专利。申请公布号为CN122455624A，申请号为CN202510117232.3，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2025年1月24日，发明人唐亚海、乐卫平、詹宏金、邱盛军、沈圣锋、林芳成、于传浪，专利代理机构北京天达知识产权代理事务所有限公司，专利代理师许志宏，分类号H01J37/32。

专利摘要显示，本发明涉及一种电弧抑制优化方法，属于电弧抑制技术领域，解决了现有等离子体腔电弧抑制效果不高的问题。该方法包括：当有电弧产生时，启动电弧抑制操作：将射频电源的输出自恒定信号输出转换成脉冲输出；经过预设时长后，将射频电源的输出转换回恒定信号输出。该方法能够实现电弧抑制的平稳过渡，避免电力输出的突然下降，能够有效提升电弧抑制的稳定性和精度，提升设备的适用寿命。同时，在经过预设时长后，将射频电源的输出转换回恒定信号输出，有效解决了长时间电弧抑制对设备正常运行造成的影响。

恒运昌是国内等离子体电源领域领先厂商，核心产品覆盖多类等离子体电源及配套装置，具备自主研发的技术壁垒优势。公司成立于2013年3月19日，2026年1月28日登陆上海证券交易所，注册及办公地址均位于广东省深圳市。

公司主营业务为等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及各类配件的研发、生产、销售与技术服务，同时引进真空获得、流体控制等相关核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，概念板块涵盖高价股、芯片概念、百元股。

2025年，恒运昌实现营业收入5.29亿元，在26家同行业可比公司中排名第22位，同期行业营收第一名北方华创达393.53亿元，第二名中微公司为123.85亿元，行业平均营收40.12亿元，行业中位数13.86亿元；营收结构中自研产品贡献4.15亿元，占比78.38%，引进产品贡献8661.32万元，占比16.36%，技术服务贡献2788.26万元，占比5.27%。同期公司实现净利润1.14亿元，行业排名第15位，行业净利润第一名北方华创为54.09亿元，第二名中微公司为20.64亿元，行业平均净利润5.9亿元，行业中位数1.62亿元。

指标类别 具体指标 数值/详情 行业对标情况 营收表现 2025年营业收入 5.29亿元 行业排名22/26，低于行业均值40.12亿元、中位数13.86亿元，头部北方华创、中微公司分别达393.53、123.85亿元 营收结构 自研产品营收及占比 4.15亿元，78.38% 为核心收入来源 营收结构 引进产品营收及占比 8661.32万元，16.36% 为配套收入来源 营收结构 技术服务营收及占比 2788.26万元，5.27% 为补充收入来源 净利润表现 2025年净利润 1.14亿元 行业排名15/26，低于行业均值5.9亿元、中位数1.62亿元，头部北方华创、中微公司分别达54.09、20.64亿元

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利公布CN202610866531.12026-06-16CN122387258A2026-07-14林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅2阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利公布CN202610866535.X2026-06-16CN122431476A2026-07-21林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅3增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610655279.X2026-05-13CN122172062A2026-06-09林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿4射频电源的最大梯度角确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610655069.02026-05-13CN122218558A2026-06-16林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿5射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610502496.52026-04-15CN122372552A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛6射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610503991.82026-04-15CN122372554A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛7射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610503110.22026-04-15CN122372553A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛8一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰9射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东10石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波11悬浮电极电路及能够应用于石墨舟清洗的设备实用新型授权CN202521858964.X2025-08-28CN224554317U2026-07-24乐卫平、刘涛、阳先峰、范天赐、谢幸光、吴凤波12电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰13一种D类逆变器及射频电源实用新型授权CN202521178423.22025-06-10CN224329399U2026-06-05林桂浩、林伟群、龚城14基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵15烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩16一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群17烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源实用新型授权CN202520974094.62025-05-16CN224356081U2026-06-12林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩18共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202520917900.62025-05-12CN224232456U2026-05-12杨佩铮、黄晓东19等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛20气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛21等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛22远程等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520898482.02025-05-07CN224356326U2026-06-12范天赐、刘涛23等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520889478.82025-05-07CN224356325U2026-06-12范天赐、刘涛24出气装置和等离子体处理设备实用新型授权CN202520890194.02025-05-07CN224384247U2026-06-19范天赐、刘涛25离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平26匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平27电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮28一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群29一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群30一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群31一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群32一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群33射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平34滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平35滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平36双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平37射频电源外观专利授权CN202530050883.62025-01-24CN309530134S2025-10-03吴基锴、乐卫平38滤波器外观专利授权CN202530050861.X2025-01-24CN309530133S2025-10-03黄晓东、乐卫平39一种多脉冲信号柔性驱动调节装置及方法发明专利公布CN202510117216.42025-01-24CN122456849A2026-07-24唐亚海、乐卫平、詹宏金、邱盛军、沈圣锋、林芳成、于传浪40一种电弧抑制优化方法发明专利公布CN202510117232.32025-01-24CN122455624A2026-07-24唐亚海、乐卫平、詹宏金、邱盛军、沈圣锋、林芳成、于传浪41功率合成再分配发生器外观专利授权CN202530044831.82025-01-22CN309530126S2025-10-03杨靖、乐卫平42松不脱安装组件实用新型授权CN202520156074.82025-01-22CN223810010U2026-01-16杨靖、黄晓东43射频电路实用新型授权CN202520157802.72025-01-22CN223928310U2026-02-17林伟群、关广宁、黄磊新44射频混入阻抗调节电路和方法发明专利公布CN202510107440.52025-01-22CN122455621A2026-07-24姚志毅、孔德奎、于富强45混频输入调节控制电路发明专利公布CN202510113578.62025-01-22CN122456988A2026-07-24林桂浩、姚志毅、唐亚海、于富强、张也、关广宁、黄磊新46功分器参数调节方法、控制装置和混频输入阻抗调节电路发明专利公布CN202510114627.82025-01-22CN122455623A2026-07-24林伟群、关广宁、黄磊新47射频混入阻抗调节电路发明专利公布CN202510113574.82025-01-22CN122455622A2026-07-24林伟群、詹宏金、郭梓涵48一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路实用新型授权CN202520140574.22025-01-21CN223785972U2026-01-09林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平49一种射频电源及其逆变器保护电路实用新型授权CN202520140249.62025-01-21CN224021633U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平50一种逆变电路及信号调制电路实用新型授权CN202520140395.92025-01-21CN224021634U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平