北京
国家知识产权局信息显示，江苏首芯半导体科技有限公司取得一项名为“一种等离子体增强化学气相沉积设备”的专利，授权公告号CN224548545U，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本说明书实施例提供一种等离子体增强化学气相沉积设备，包括视窗结构、设备腔体和远程等离子体；视窗结构通过卡箍安装在设备腔体的外壳上；远程等离子体用于将设备腔体内的工艺气体转化成等离子态并产生氟离子；远程等离子体与视窗结构之间通过清洗管路相连，清洗管路上设置有开关，开关用于将氟离子经清洗管路输送至视窗结构表面以对视窗结构表面进行清洗。通过本视窗结构，打开开关，能够使得远程等离子体工作所产生的氟离子经清洗管路输送至视窗主体表面，与视窗主体表面表面膜层发生反应即可实现对视窗主体的清洁，保证视窗对设备内反应过程的观察效果；当清洁工作完成后，关闭开关，避免重复清洗造成视窗被过度清洗造成破坏。
天眼查资料显示，江苏首芯半导体科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1574.4864万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏首芯半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息43条，此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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