国家知识产权局信息显示,中天晶科(宁波)半导体材料有限公司取得一项名为“一种用于碳化硅外延炉的气浮托盘”的专利,授权公告号CN224531120U,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种用于碳化硅外延炉的气浮托盘,气浮托盘包括:托盘本体和气流通道,气流通道的第一气流段和第二气流段在托盘本体的盘面所在平面上的投影具有夹角θ,使得气流走过的路径是一个折线,所以气流会由于惯性在第一气流段的延长方向上产生撞击,然后再转向第二气流段,最后流出;撞击产生的力作用到托盘本体上,就会使得悬浮的托盘本体旋转,折线状态的路径使得气流在转弯时作用到气流通道内壁的分力较大,即与现有气流通道相比,进入同样的气流量,气流通道内起到推动托盘本体旋转的有效气流更多,托盘本体旋转更快,气流通道利用率更高,可设置更少的通道数量以减少成本;也减少了气孔吹气量,进而减少外延片表面缺陷。
天眼查资料显示,中天晶科(宁波)半导体材料有限公司,成立于2019年,位于宁波市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本53423.3332万人民币。通过天眼查大数据分析,中天晶科(宁波)半导体材料有限公司参与招投标项目455次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息135条,此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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