华海清科（北京）科技华海清科股份取得基板传输装置相关专利，该装置通过双吸盘组合装载传输基板

来源：新浪证券-红岸工作室

7月18日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司、华海清科股份有限公司申请一项名为“一种基板传输装置和基板磨削装备”的专利，授权公告号CN117260428B，授权公告日为2026年7月17日。申请公布号为CN117260428A，申请号为CN202311154283.0，申请公布日期为2026年7月17日，申请日期为2023年9月8日，发明人路新春、刘远航、赵德文，分类号B24B7/22、B24B41/00、B24B41/06。

专利摘要显示，本发明公开了一种基板传输装置和基板磨削装备，所述基板传输装置包括固定座、摆臂和装载头，所述装载头设置于摆臂的端部并绕固定座摆动；所述装载头包括连接组件、刚性的第一吸盘和柔性的第二吸盘，所述连接组件的一端设置于摆臂，其另一端滑动连接有第一吸盘；所述连接组件包括导向件、支撑件和连接件，所述导向件竖向设置于支撑件的上方，所述连接件垂直设置于支撑件的下方；所述连接件竖向连接于第一吸盘的竖向孔，所述第二吸盘设置于连接件的底部；基板装载时，利用第一吸盘和第二吸盘组合而装载基板。

天眼查数据显示，华海清科（北京）科技有限公司成立日期2019年3月1日，法定代表人刘福生，所属行业为科技推广和应用服务业，企业规模为中型，注册资本15000万人民币，实缴资本15000万人民币，注册地址为北京市北京经济技术开发区马驹桥镇盛芯街17号院1号楼。华海清科（北京）科技有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目94次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息140条，拥有行政许可9个。

华海清科（北京）科技有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种应用于真空吸盘的晶圆定心机构和晶圆清洗设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610520880.82026-04-20CN122206226A2026-06-12贾洪杰、刘婷婷、王鹏2晶圆加工装置、晶圆减薄设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610416799.52026-04-01CN121946307A2026-05-01王同庆、赵德文、刘远航、靳凯强、周鹏飞3一种激光划片机、过滤除尘系统及控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610395417.52026-03-27CN121928218A2026-04-28刘远航、何旺、鲍伟成、赵德文、路新春4一种晶圆磨削组件、晶圆减薄装置及减薄方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610385517.X2026-03-27CN121928427A2026-04-28靳凯强、刘远航、黄威、王同庆、赵德文5晶圆加工装置、供液组件及晶圆加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610353247.42026-03-23CN121925072A2026-04-24张美美、徐俊成、王鹏、卢潇潇6一种晶圆后处理装置及后处理方法发明专利公布CN202610345946.42026-03-20CN122349329A2026-07-07张国伟、徐俊成、王鹏7一种晶圆清洗装置和处理设备发明专利公布CN202610344403.02026-03-20CN122349328A2026-07-07王鹏、徐俊成、王延华、贾洪杰、刘婷婷8一种用于晶圆划切设备的喷淋装置和晶圆划切设备发明专利公布CN202610332776.62026-03-18CN122349327A2026-07-07刘远航、陈铁、鲍伟成、赵德文、路新春9晶圆加工系统及方法、修整器组件、化学机械抛光设备发明专利授权CN202610320010.62026-03-17CN121893176B2026-05-26郑烨、刘杰、王春龙10一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610115453.12026-01-28CN121925091A2026-04-24徐俊成、刘福生、刘效岩11晶圆加工系统、方法、电子设备及计算机介质发明专利授权CN202610083655.22026-01-22CN121572172B2026-04-28王超、田芳馨、窦华成12晶圆加工装置、方法、电子设备及计算机介质发明专利授权CN202610083727.32026-01-22CN121552242B2026-05-15田云、辜声攀、张标、吕嘉峰13电涡流检测方法、终点检测系统、化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610666018.82026-01-22CN122231752A2026-06-19王超、田芳馨、窦华成14膜厚测量装置及方法、化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610666019.22026-01-22CN122253076A2026-06-23王超、田芳馨、窦华成15晶圆加工方法及装置、电子设备、存储介质发明专利公布CN202610818949.52026-01-22CN122401271A2026-07-17田云、辜声攀、张标、吕嘉峰16抛光终点检测方法、化学机械抛光设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610019802.X2026-01-08CN121468390A2026-02-06王同庆、窦华成、刘志、田芳馨17基板处理装置、清洗装置及清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511999350.82025-12-29CN121419596A2026-01-27徐俊成、刘福生18一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置发明专利公布CN202511885779.42025-12-15CN121843481A2026-04-10刘婷婷、贾洪杰、王鹏、徐俊成、王延华19一种晶圆清洗装置和清洗方法发明专利公布CN202511833144.X2025-12-08CN121693028A2026-03-17张国伟、徐俊成、王鹏、卢潇潇20一种晶圆夹持机构、晶圆清洗装置和清洗方法发明专利公布CN202511833145.42025-12-08CN121843480A2026-04-10张江勇、徐俊成21晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春22一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文23磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510679798.52025-05-26CN120206405B2025-08-19沈午祺、李森、刘远航24磨轮自锐性增强方法、装置及晶圆减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511307082.92025-05-26CN121083522A2025-12-09沈午祺、李森、刘远航25化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510647339.92025-05-20CN120170631B2025-08-19路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科26化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利公布CN202511268736.12025-05-20CN120941269A2025-11-14路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科27化学机械抛光设备及晶圆传输方法发明专利公布CN202511268735.72025-05-20CN120941268A2025-11-14路新春、王同庆、夏佳琪、李长坤、王科28化学机械抛光设备及化学机械抛光方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510632674.12025-05-16CN120134207B2025-08-19李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科29化学机械抛光设备及化学机械抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511214277.92025-05-16CN120862551A2025-10-31李洪阳、陈映松、许振杰、李长坤、王科30竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510489702.92025-04-18CN120221468A2025-06-27李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤31竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510489709.02025-04-18CN120033122B2025-08-19李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤32竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质发明专利公布CN202511178930.02025-04-18CN121035009A2025-11-28李灯、刘洪旺、曹自立、李长坤33一种晶圆清洗系统和清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510467827.12025-04-15CN120072714A2025-05-30刘福生、徐俊成、刘效岩34边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510428498.X2025-04-08CN119927758B2025-06-13赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成35接触式测量器及晶圆减薄设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510428497.52025-04-08CN119952610B2025-07-15路新春、赵德文、马帅、陈超36边缘打磨装置、边缘打磨方法、晶圆切边设备及切边方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510962400.92025-04-08CN120791590A2025-10-17赵德文、陈铁、刘远航、鲍伟成37接触式测量器及晶圆减薄设备发明专利公布CN202511067640.92025-04-08CN120985536A2025-11-21路新春、赵德文、马帅、陈超38晶圆清洗方法、装置和设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510360459.02025-03-26CN119870026B2025-07-15刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏39晶圆清洗方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510745594.72025-03-26CN120618927A2025-09-12刘丰迪、徐俊成、王延华、王鹏40一种晶圆清洗装置和处理设备发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510349141.22025-03-24CN120089624A2025-06-03刘丰迪、徐俊成、王延华、杨雪梅41装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510162295.02025-02-14CN119650481B2025-06-17路新春、赵德文、韩晓铠、马旭42装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510932949.32025-02-14CN120933197A2025-11-11路新春、赵德文、韩晓铠、马旭43一种晶圆后处理装置和后处理方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510081400.82025-01-20CN119542205B2025-05-13张美美、王延华、徐俊成44一种晶圆后处理装置和后处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510428606.32025-01-20CN120319688A2025-07-15张美美、王延华、徐俊成45晶圆清洗装置、系统、方法和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411976834.62024-12-31CN119852209A2025-04-18杨雪梅、刘福生、刘丰迪46一种晶圆定位机构、定位方法以及晶圆处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411976837.X2024-12-31CN119864313A2025-04-22王鹏、王延华、徐俊成、刘丰迪47一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411918399.12024-12-25CN119361523B2025-04-15张美美、徐俊成、郭鹏48一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510365484.82024-12-25CN120199723A2025-06-24张美美、徐俊成、郭鹏49夹持机构以及晶圆清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411900765.02024-12-23CN119480775A2025-02-18张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东50夹持机构以及晶圆清洗装置实用新型授权CN202423175212.12024-12-23CN223612410U2025-11-28张美美、徐俊成、王鹏、刘豫东

华海清科是国内CMP设备领域领军企业，核心从事化学机械抛光设备研发制造，拥有全产业链布局的差异化竞争优势。公司成立于2013年4月10日，于2022年6月8日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于天津市。

华海清科主营业务为半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖高校系、中芯国际概念、HBM概念三大概念板块。

2025年，华海清科实现营业收入46.48亿元，在26家同行业可比公司中排名第7，高于行业平均数40.12亿元与行业中位数13.86亿元，同期行业营收前两位的北方华创、中微公司分别实现营收393.53亿元、123.85亿元；公司营收结构中，半导体装备业务贡献40.54亿元，占比87.22%，半导体服务业务贡献5.94亿元，占比12.78%。同年公司实现净利润10.83亿元，行业排名第5，高于行业平均数5.9亿元与行业中位数1.62亿元，同期行业净利润前两位的北方华创、中微公司分别实现净利润54.09亿元、20.64亿元。

指标类型具体指标数值/详情行业排名/对比基准营收类2025年营业收入46.48亿元7/26，高于行业均值40.12亿元、中位数13.86亿元营收构成半导体装备业务40.54亿元，占比87.22%营收构成半导体服务业务5.94亿元，占比12.78%净利润类2025年净利润10.83亿元5/26，高于行业均值5.9亿元、中位数1.62亿元

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种晶圆抛光方法、抛光单元和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610705158.12026-05-21CN122248984A2026-06-19田云、辜声攀、杜新祥、马海港2一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备发明专利公布CN202610668707.22026-05-15CN122353463A2026-07-10程子政、孟松林、金军3一种抛光带与晶圆缺口相对位置的检测装置和检测方法发明专利公布CN202610546525.82026-04-23CN122099962A2026-05-29周朝龙、辛宇航、郭垒、杨志冰4晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵5抛光液分布预测方法、化学机械抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610366890.02026-03-24CN122033825A2026-05-15张力飞、王同庆、赵南皓6晶圆加工系统、终点检测装置、方法及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610348698.92026-03-20CN122253080A2026-06-23王同庆、王科、窦华成、田芳馨7晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利授权CN202610230602.92026-02-27CN121752004B2026-05-15王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤8化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610211064.92026-02-13CN122077513A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆9晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文10化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆11化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆12晶圆处理装置、控制方法及化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198513.02026-02-11CN122077512A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆13一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科14晶圆化学机械抛光设备及基于晶圆状态的动态密封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188204.52026-02-10CN122058269A2026-05-19张海鹏、曹冠宁、范少文、王科、孙传恽、李长坤15一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑16一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤17抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科18抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤19晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成20晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮21晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春22晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节23一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟24一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛25一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰26一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏27一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐28一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤29一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤30晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春31一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟32一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科33抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤34抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科35一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军36一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤37一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟38一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟39一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利公布CN202511270349.12025-09-08CN120985523A2025-11-21刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟40晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利公布CN202511127407.52025-08-13CN120977917A2025-11-18路新春、李长坤、曹自立、王科41竖直抛光装置及竖直抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511039838.62025-07-28CN120680396A2025-09-23辛宇航、郭垒、周朝龙42一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511021830.72025-07-24CN120734904A2025-10-03陈贺、曹自立、李灯、李长坤43一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文44一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510962318.62025-07-14CN120791640A2025-10-17谭锐、孙少雪、徐海洋、王科45卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510964002.02025-07-14CN120841269A2025-10-28田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒46用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备发明专利公布CN202510925240.02025-07-05CN120962533A2025-11-18王超、路新春、田芳馨47一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510914634.62025-07-03CN120715804A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科48一种晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510914728.32025-07-03CN120715797A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科49一种晶圆传输装置和具有该传输装置的CMP系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510900113.52025-07-01CN120816419A2025-10-21王剑、李俊卿、李长坤50一种晶圆传输方法发明专利公布CN202510900110.12025-07-01CN120985526A2025-11-21王剑、李俊卿、李长坤