国家知识产权局信息显示,苏州龙驰半导体科技有限公司申请一项名为“一种半导体器件的欧姆接触结构及其制备方法”的专利,公开号CN122396024A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体技术领域,提供一种半导体器件的欧姆接触结构及其制备方法。制备方法包括:在SiC单晶衬底表面预设的欧姆接触区域,通过离子注入进行掺杂,离子注入所引入的掺杂浓度满足将预设欧姆接触区域的SiC晶格发生损伤并形成连续非晶层以作为非晶SiC区;进行高温激活退火,将重掺杂的非晶SiC区转变成重掺杂的多晶SiC区;多晶SiC区掺杂浓度满足多数载流子直接凭借量子力学的隧穿效应克服多晶SiC区的晶界势垒;直接在重掺杂的多晶SiC区之上形成金属结构。本申请解决了传统的半导体器件的欧姆接触结构的制备方法中消耗SiC、制作Silicide高温以及工艺步骤较多的技术问题。
天眼查资料显示,苏州龙驰半导体科技有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本19634.4449万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州龙驰半导体科技有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息86条,此外企业还拥有行政许可33个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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