国家知识产权局信息显示,霍尼韦尔国际公司申请一项名为“增强型环形谐振器双频梳光谱气体传感器”的专利,公开号CN122385512A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本公开提供一种光子气体传感器芯片,该光子气体传感器芯片包括:衬底;氧化硅层,该氧化硅层设置在该衬底上;加热元件,该加热元件设置在该氧化硅层上;氧化硅基底,该氧化硅基底设置在该加热元件上;以及氮化硅波导,该氮化硅波导设置在该氧化硅基底上。该氮化硅波导包括扩展谐振环形波导,该扩展谐振环形波导包括螺旋波导区段。该螺旋区段使光学路径长度增加,同时保持紧凑的占用空间。该加热元件使得能够对谐振频率进行热调谐以匹配双频梳光谱重复频率。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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