北京
国家知识产权局信息显示，上海励兆科技有限公司申请一项名为“远程等离子体源的冷却水状态检测方法”的专利，公开号CN122385014A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本申请提供了一种远程等离子体源的冷却水状态检测方法，包括：在冷却水正常条件下，控制远程等离子体源按照不同速率从初始输出功率提高到不同目标输出功率，实时检测腔体的温度，以得到正常温升率；在冷却水异常条件下，控制远程等离子体源按照不同速率从所述初始输出功率提高到所述不同目标输出功率，实时检测腔体的温度，以得到异常温升率；基于正常温升率确定冷却水正常工作的基准阈值，基于正常温升率和异常温升率确定冷却水异常工作的异常阈值；以及测量当前温升率、当前输出功率和当前功率提升速率，将所述当前温升率和基准阈值以及异常阈值进行比较，并且根据当前输出功率确定冷却水状态。
天眼查资料显示，上海励兆科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本473.6255万人民币。通过天眼查大数据分析，上海励兆科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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