鲁汶仪器冲刺科创板：年营收7亿 净亏2亿 拟募资25亿创始人是外籍

雷递网 雷建平 7月6日

江苏鲁汶仪器股份有限公司（简称：“鲁汶仪器”）日前递交招股书，准备在科创板上市。

鲁汶仪器计划募资25亿元，其中，13.6亿用于研发总部和制造基地项目，1.14亿用于集成电路装备研发项目。

年营收7亿 净亏2.2亿

鲁汶仪器致力于为集成电路制造产业提供先进的装备和工艺解决方案，自设立以来专注于半导体前道设备的研发、生产和销售。

鲁汶仪器形成了以离子束设备和电感耦合（ICP）等离子体刻蚀设备为核心，化学气相沉积设备和气相分解金属沾污收集设备为辅助的多品类产品矩阵，公司相应产品应用于先进工艺的逻辑和存储晶圆厂以及特色工艺的功率晶圆厂和光学显示厂。

鲁汶仪器自设立以来即聚焦离子束工艺和等离子体刻蚀两大工艺，通过结合两种工艺，研发出第一代新兴存储器工艺设备（LMEC-200），解决了以磁阻随机存储器（MRAM）为代表的新兴存储器件量产塑形工艺难题，2018年在与国际主流厂商的竞争中取得中国台湾工研院的销售订单。

此后，公司基于新兴存储器工艺设备的不同工艺腔室衍生出离子束设备、ICP 刻蚀设备、CVD设备等不同独立产品线。此外，公司也自研VPD 设备并实现量产。

鲁汶仪器通过多年自主研发，围绕离子束塑形、等离子体刻蚀等核心工艺，掌握了一系列核心技术，形成了以离子束设备和 ICP 刻蚀设备为核心，CVD 设备和VPD 设备为辅助的多品类产品矩阵。

招股书显示，鲁汶仪器2023年、2024年、2025年营收分别为2亿、2.7亿、7亿元；净亏分别为1.15亿、2.1亿、2.1亿；扣非后净亏损分别为1.37亿、2.28亿、2.28亿元。

创始人许开东控制25%表决权 为比利时国籍

本次发行前，公司实际控制人许开东通过比利时鲁汶和与比利时鲁汶保持一致行动的徐州比鲁，间接可控制25.11%股份表决权。

许开东，出生于1977年，比利时国籍，先后毕业于北京大学、比利时鲁汶大学，分别获化学学士学位及博士学位。2004年11月至2010年8月，任奥地利Lam资深研发经理；2010年8月至2015年11月，历任欧洲微电子研究所（IMEC）等离子体刻蚀组研发主管、经理；发行人设立至今，作为创始人创立公司，始终担任公司董事长、总经理。

许开东在国内外半导体业界和研究机构拥有20多年的研发和管理经验，涉足包括28纳米及以下多个技术节点的逻辑电路和存储器制造工艺中的离子束塑形和等离子体刻蚀技术。

在公司创立早期，许开东研发了结合离子束塑形和等离子体刻蚀技术的特种金属膜层刻蚀设备，解决了MRAM新兴存储器器件中核心结构磁隧道结制造所遇到的特种金属膜层铣削技术难题。

公司后续发展过程中，许开东带领团队基于特种金属膜层刻蚀设备的不同工艺腔室陆续开发了具有技术特色的离子束塑形设备和ICP等离子体刻蚀设备，以及VPD设备。

IPO前，比利时鲁汶持股为19.82%，徐州比鲁持股为5.29%，国投集新持股为7.29%，宁波钰镭持股为5.26%，上海国际持股为4.86%，徐州博灏持股为3.05%，中科院微电子所持股为2.98%，海南至华持股为2.62%，长存产业基金持股为2.58%，天津鼎辉持股为2.24%，聚源芯创持股为2.11%，浑璞守静持股为1.76%，联金创新持股为1.72%，乾瞻博智持股为1.71%；

九州舜创持股为1.67%，中科创星持股为1.65%，亦庄新兴产业持股为1.49%，深创投、红土璟钰分别持股为1.36%，星耀源科持股为1.35%，嘉兴宸玥持股为1.21%，广东易鸣持股为1.17%，宁波浑璞浑金持股为1.09%，尊泽创投持股为1.06%，新鼎资本、物联网三期分别持股为1%，嘉兴金梧持股为0.94%，亦庄创极持股为0.9%，杭州泽鎏持股为0.86%，星耀拾山持股为0.83%；

上海联升持股为0.82%，徐州智能持股为0.81%，耀辉投资、金浦二期、乐融贰号分别持股为0.8%，鑫创一号持股为0.76%，上海金浦持股为0.75%，虹芯二期持股为0.7%，苏州启辰贰期持股为0.69%，深创资本持股为0.68%，建信领航持股为0.64%，中科创星二期持股为0.62%，中芯熙诚、明智倡新分别持股0.6%，无锡启辰贰期、晋江十月、安徽十月、广东济舟、南京合翼分别持股为0.52%；舜宇三号持股为0.51%；

星领创投持股为0.49%，宁波通商、鑫创二号分别持股0.48%，中比基金、冯源聚芯分别持股0.4%，星光二号持股为0.34%，博达盛世持股为0.31%，淄博函数持股为0.28%，太和盛恒持股为0.21%，广开芯泉持股为0.2%，芯途方信、宁波十月分别持股为0.17%，青岛芯微、国科创投分别持股为0.16%，广州芯星持股为0.14%。

IPO后，比利时鲁汶持股为14.87%，徐州比鲁持股为3.97%，国投集新持股为5.47%，宁波钰镭持股为3.95%，上海国际持股为3.64%，徐州博灏持股为2.29%，中科院微电子所持股为2.23%，海南至华持股为1.96%，长存产业基金持股为1.94%，天津鼎辉持股为1.68%，聚源芯创持股为1.59%，浑璞守静持股为1.32%，联金创新持股为1.29%，乾瞻博智持股为1.28%；

九州舜创持股为1.25%，中科创星持股为1.24%，亦庄新兴产业持股为1.12%，深创投、红土璟钰分别持股为1.02%，星耀源科持股为1.01%，嘉兴宸玥持股为0.9%，广东易鸣持股为0.88%，宁波浑璞浑金持股为0.81%，尊泽创投持股为0.8%，新鼎资本、物联网三期分别持股为0.75%，嘉兴金梧持股为0.7%，亦庄创极持股为0.68%，杭州泽鎏持股为0.65%，星耀拾山持股为0.62%；

上海联升、徐州智能分别持股为0.61%，耀辉投资、金浦二期、乐融贰号分别持股为0.6%，鑫创一号持股为0.57%，上海金浦持股为0.56%，虹芯二期持股为0.53%，苏州启辰贰期持股为0.52%，深创资本持股为0.51%，建信领航持股为0.48%，中科创星二期持股为0.46%，中芯熙诚、明智倡新分别持股0.45%，无锡启辰贰期、晋江十月、安徽十月、广东济舟、南京合翼分别持股为0.39%；舜宇三号持股为0.38%，星领创投、宁波通商、鑫创二号分别持股为0.36%；

中比基金、冯源聚芯分别持股0.3%，星光二号持股为0.26%，博达盛世持股为0.24%，淄博函数持股为0.21%，太和盛恒持股为0.16%，广开芯泉持股为0.15%，芯途方信、宁波十月分别持股为0.13%，青岛芯微、国科创投分别持股为0.12%，广州芯星持股为0.11%，冯源威芯持股为0.06%，安义恒盈持股为0.05%，杨凌忠科持股为0.01%。

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