来源:市场资讯
(来源:联赢激光)
引言/Introduction
在5G通信、新能源与光电子产业高速发展的当下,激光泵浦源、光通信器件等核心光电器件的性能与可靠性,已成为产业链关注的焦点。而作为激光芯片核心组件的COS(Chip on Submount)器件,其端面的洁净度与外观缺陷,直接影响芯片的发光效率、散热性能与使用寿命。传统人工检测与清洗方式,不仅效率低下、一致性差,更难以满足高功率器件量产对微米级洁净度的严苛要求,成为制约光电器件品质升级的关键工艺瓶颈。
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联赢激光依托在精密激光与自动化领域二十余年的技术积淀,通过旗下专注半导体装备的子公司——江苏联赢半导体技术有限公司,推出自主研发的COS检测清洁机,为COS器件提供检测与清洗一体化解决方案,助力半导体光电子产业突破封装工艺瓶颈。
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UW COS检测清洁机
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UW COS检测清洁机是专为COS激光芯片产品打造的检测与清洁一体化高端设备,集成了机器视觉检测技术与环保型二氧化碳雪花清洗技术,可对芯片的N面、P面及AR(增透膜)、HR(高反膜)端面进行全面检测,同时可对AR面进行脏污进行精密清洁(黑点,浮动脏污,油脂可清洁比例40%)。
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设备以标准Mark点为定位基准,贴装精度控制在XY≤±10μm(标准片)以内,检测精度控制在±2μm,检出准确率≥99.5%,清洗有效率在70%(实际根据来料),确保检测与清洗作业的高可靠性。在效率方面,纯检测模式下设备综合产能(UPH)可达500PCS/H以上,单颗芯片清洗时间(CT)不超过5秒;包含全检与清洁的全流程作业中,UPH同样稳定在300PCS/H以上。设备上料方式采用华夫盒堆叠式设计,可兼容4寸及2寸规格华夫盒,通过适配器即可实现换型,单台换型时间控制在1小时以内,有效提升产线灵活性与生产效率。
设备优势特点
高精度定位与检测
采用机器视觉检测系统,并以标准Mark为基准进行高精度定位,贴装精度可达 XY≤±10μm(标准片),确保检测与清洗作业的准确性,检出准确率≥99.5%。
高效环保的清洗工艺
选用自研环保型二氧化碳雪花清洗方式,在保证清洗质量的同时更加安全环保。设备清洗效率高,纯清洗模式下 UPH≥500PCS/H,单颗清洗时间 CT≤5S,显著提升生产节拍。
高集成度与全流程效率
集检测与清洗功能于一体,实现“检测-清洗”一站式作业。全流程(含全部检验与清洁)综合产能 UPH≥300PCS/H,有效减少工序流转,提升整体生产效率。
优异的兼容性与灵活性
上料结构以4寸华夫盒为基础设计,通过适配器即可兼容2寸华夫盒,满足不同规格产品的生产需求。设备换型便捷,换型时间≤1小时/台,大幅缩短产线切换等待时间。
自动化堆叠上料
支持华夫盒堆叠上料方式,提升单次上料的可作业数量,减少人工干预频率,为实现自动化连续生产提供有力支持。
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