上海
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6月26日，光刻机概念持续走强，海立股份（600619.SH）直线涨停，此前新莱应材（300260.SZ）20cm涨停，蓝英装备（300293.SZ）、佳先股份（920489.BJ）涨幅超10%，张江高科（600895.SH）、波长光电（301421.SZ）、奥普光电（002338.SZ）、茂莱光学（688502.SH）等亦同步冲高。
消息面上，海立股份子公司海立特冷为上海微电子封装光刻机独家供应高精度冷却系统，温控精度达±0.01℃，成功打破日本荏原垄断。双方合作已从零部件升级至系统级联合开发，未来有望延伸至前道光刻机热管理配套，成为A股稀缺光刻机温控标的，题材弹性显著。
当前，公司受益于上海国资改革与AI液冷双重逻辑：其液冷产品已配套英伟达（NVDA.US）AI算力机房，同时协同人形机器人轻量化及半导体设备国产替代双主线。在算力中游（PCB、CPO）整体回调背景下，公司成为资金布局低位设备配套的核心标的。
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