上海
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方正证券（601901.SH）研报指出，华海清科（688120.SH）在手订单饱满，现有设备产能已不足以保障在手订单及未来短期内新增订单的交付能力，现有晶圆再生产能已不足以保障公司承接新的客户订单。截至26年5月底，公司CMP/磨划/离子注入/晶圆再生/关键耗材及维保服务在手订单分别为63.27/6.03/5.21/1.48/2.80亿元，其中离子注入和关键耗材及维保服务在手订单额相较于2025年底在手订单额增长116.04%和86.14%。根据目前在手订单及生产排产情况，公司预计26Q4半导体装备产品月均出货量将超60台（25年月均出货量约33台），且预计2027年全年半导体装备产品月均出货量仍将保持高位运行状态。公司持续深化“装备+服务”平台化发展战略，深度绑定国内头部客户，核心产品产业化进展顺利，在手订单饱满，业绩有望实现高速增长。维持“强烈推荐”评级。
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