国家知识产权局信息显示,江西兆驰集成科技有限公司申请一项名为“一种InP晶圆解键合清洗方法”的专利,公开号CN122270070A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明提供一种InP晶圆解键合清洗方法,属于半导体领域。该清洗方法为:在InP晶圆被真空吸附并持续旋转的状态下,按顺序依次执行初次丙酮喷淋、初次异丙醇喷淋、去离子水喷淋、二次丙酮喷淋、二次异丙醇喷淋和氮气吹干步骤。本发明提供一种分步、协同、高效的Inp晶圆去蜡清洗工艺,通过特定序列的溶剂喷淋与物理旋转相结合,实现无残留、无水渍的清洗效果。
天眼查资料显示,江西兆驰集成科技有限公司,成立于2025年,位于南昌市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江西兆驰集成科技有限公司参与招投标项目3次,专利信息36条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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