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国家知识产权局信息显示，恩特格里斯公司申请一项名为“化学品递送系统及操作所述化学品递送系统的方法”的专利，公开号CN122214827A，申请日期为2018年12月。
专利摘要显示，本申请涉及一种化学品递送系统及操作所述化学品递送系统的方法。所述化学品递送系统包含散装容器、运行/再填充腔室、第一导管及第二导管。所述散装容器存储前体。所述运行/再填充腔室包含多个间隔开的管，所述多个间隔开的管具有多个表面，所述多个表面用于以蒸汽形式接收所述前体并以固体形式存储所述前体。所述第一导管将所述散装容器连接到所述运行/再填充腔室，用于以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到所述运行/再填充腔室。所述第二导管将所述运行/再填充腔室连接到沉积腔室，用于以蒸汽形式将所述前体从所述运行/再填充腔室输送到所述沉积腔室。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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