北京
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种膜层平坦化系统及膜层平坦化方法”的专利，公开号CN122224741A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请提供一种膜层平坦化系统及方法，包括：平坦化处理装置，平坦化处理装置包括热点修饰子空间和整面平坦子空间，热点修饰子空间设置有第一离子源，整面平坦子空间设置有第二离子源；平坦化处理装置包括载台和转移结构，载台用于放置待平坦化衬底，转移结构用于将载台在热点修饰子空间和整面平坦子空间之间转移；当载台位于热点修饰子空间和整面平坦子空间，分别进行局部平坦化处理和整面平坦化处理，也就是说，基于转移结构实现放置在载台上的待平坦化衬底进行不同的平坦化处理的切换，通过利用第一离子源进行局部平坦化处理和利用第二离子源进行整面平坦化处理，从而实现对待平坦化衬底的超高平坦化处理，降低总厚度偏差，提高膜层平整度。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目269次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息519条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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