北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“一维图像传感器阵列”的专利，公开号CN122206204A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，公开了用于监测衬底的系统和过程。该系统和过程可以包括闸阀、配置为通过闸阀将衬底从第一室转移到第二室的机器人以及与闸阀对准的传感器阵列。传感器阵列可配置成在衬底鉴于传感器阵列而移动时沿着单个维度捕获衬底的数据。该系统和过程可辅助提供较不复杂且较不耗时的方式来全面检验晶片。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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