上海
消息面上，《前瞻布局和发展未来产业》强调培育发展未来产业，抢占科技和产业制高点、牢牢把握发展主动权。
华源证券认为，在摩尔定律放缓背景下，先进封装、键合设备、CMP及清洗设备等环节将成为关键增量方向，尤其混合键合技术因适配HBM与Chiplet高密度互连需求，正加速渗透并重塑设备价值链条。
截至2026年6月4日09:45，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨1.63%，成分股中船特气上涨16.43%，艾森股份上涨7.72%，中巨芯上涨7.39%，华峰测控，金宏气体等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨1.60%，冲击3连涨。最新价报1.97元。
截至2026年6月4日09:47，国证半导体芯片指数(980017)强势上涨1.41%，成分股三安光电上涨7.48%，兆易创新上涨4.95%，盛美上海上涨3.98%，澜起科技，卓胜微等个股跟涨。半导体ETF鹏华(159813)上涨1.32%，冲击3连涨。最新价报1.61元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
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