中科飞测申请检测调焦系统相关专利，检测系统利用相位分析实现纳米级自动调焦

来源：新浪证券-红岸工作室

6月3日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质”的专利。申请公布号为CN122120580A，申请号为CN202610541586.5，申请公布日期为2026年5月29日，申请日期为2026年4月23日，发明人尉佩、马砚忠、陈鲁，专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司，专利代理师郭燕、彭家恩，分类号H04N23/50、G01N21/01、G01N21/95、G01B11/24、H04N23/55、H04N23/69。

专利摘要显示，本申请提供一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质，该系统包括光源组件、光学组件、成像组件和处理器，其中待测物体表面预设有用于焦面定位的特征结构；处理器被配置为粗调成像组件与待测物体的相对位置，并在多个位置采集干涉图像，根据所采集的干涉图像确定初始焦面位置；而后在初始焦面位置附近多次改变成像组件与待测物体的相对位置并在对应位置分别采集干涉图像，利用特征结构对应的相位信息构建锐利度指标，比较各位置的指标值精确定位最佳焦面位置。本申请将调焦依据从传统的图像强度分析提升至相位域分析，利用相位对离焦的高度敏感性，在无需增加硬件的前提下实现了纳米级精度的自动调焦，为高精度半导体检测提供了可靠的焦面保障。

中科飞测成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于广东省深圳市。该公司是国内领先的集成电路检测设备供应商，专注于检测和量测设备，技术实力强，具备稀缺性。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，属于半导体设备、中芯国际概念、存储概念板块。

2025年，中科飞测营业收入20.53亿元，在25家行业公司中排名第11，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数14.26亿元，但低于行业平均数41.44亿元。主营业务中，检测设备收入13.64亿元，占比66.43%；量测设备收入6.23亿元，占比30.36%；其他（补充）5335.18万元，占比2.60%；软件1262.64万元，占比0.61%。净利润方面，2025年为5865.26万元，行业排名19/25，与第一名北方华创的54.09亿元、第二名中微公司的20.64亿元差距较大，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利公布CN202610541586.52026-04-23CN122120580A2026-05-29尉佩、马砚忠、陈鲁2缓存装置、检测设备及检测工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202610378049.32026-03-26CN121941304A2026-04-28马砚忠、余涛、王见、陈鲁3扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质发明专利公布CN202610203146.92026-02-11CN122108011A2026-05-29邵双方、吕肃、陈鲁4开关防护装置及X射线检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610097307.02026-01-23CN122050905A2026-05-15李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁5成像系统以及成像方法发明专利公布CN202610094342.72026-01-23CN122131550A2026-06-02姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁6成像方法以及成像系统发明专利公布CN202610098261.42026-01-23CN122131551A2026-06-02吕肃、姚本溪、郝柏尊、陈鲁7扫描电子显微镜对中调节方法及相关装置发明专利公布CN202610043765.62026-01-13CN121839511A2026-04-10吕肃、许涛、陈鲁8一种图像测量系统发明专利公布CN202512060296.72025-12-31CN121837239A2026-04-10刘健鹏、黎广言、张鹏斌、陈鲁9一种图像角度确定方法及图像角度确定装置、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060747.72025-12-31CN121861000A2026-04-14王启坤、黎广言、张鹏斌、陈鲁10一种光声测量过程中的刀口校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512058972.72025-12-31CN121917461A2026-04-24马砚忠、戴鹭楠、陈鲁11椭偏测量的修正方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512060067.52025-12-31CN121996924A2026-05-08马砚忠、高浩哲、陈鲁12一种聚焦偏移标定方法、系统以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202512036837.22025-12-30CN121720376A2026-03-24吕肃、商橙、陈鲁13膜层测量装置和膜层测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202512044490.62025-12-29CN121720986A2026-03-24孙韬、马砚忠、白园园、陈鲁14旋转补偿器及光学测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202512016763.62025-12-29CN121806272A2026-04-07马砚忠、石海林、陈鲁15一种晶圆字符串检测方法及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023232.X2025-12-29CN121903982A2026-04-21董坤玲、杨亭、张鹏斌、陈鲁16膜层测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511985534.92025-12-25CN121855402A2026-04-14陈鲁、马砚忠、孙韬、郑麦杰17一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利授权CN202511960845.X2025-12-24CN121384814B2026-03-31赵康俊、张龙、黄有为、陈鲁18一种光路装置、光学检测方法以及检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610143618.62025-12-24CN121918317A2026-04-24陈鲁、黄有为、张龙19一种待测点的位置确定方法及光学检测系统、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511958659.22025-12-23CN121746485A2026-03-27胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁20半导体量测系统和X射线束定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511951765.82025-12-22CN121855427A2026-04-14马砚忠、陈鲁、李炎、白园园、崔建华21一种数据处理方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511930385.62025-12-19CN121708098A2026-03-20陈鲁、黄有为、张龙、陈忠奎、邹丽君、徐雨哲、孙守强22一种AI推理方法、推理系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511925037.X2025-12-18CN121902972A2026-04-21贺金龙、陈基荣、陈鲁23基于深度学习可自动聚焦和像散校正的成像参数校正方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511930080.52025-12-18CN121921188A2026-04-24汪进鸿、吕肃、陈鲁24一种样品运动平台及其控制方法、检测设备发明专利公布CN202511889595.52025-12-12CN121828580A2026-04-10庞芝亮、吕肃、陈鲁25一种坐标校准方法及相关产品发明专利公布CN202511821139.72025-12-04CN121639798A2026-03-10徐雨哲、张龙、黄有为、陈鲁26电子显微镜及其对中偏差校正方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511821888.X2025-12-04CN121748246A2026-03-27朱中道、张志强、吕肃、陈鲁27探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511818006.42025-12-02CN121721070A2026-03-24吕肃、陈子林、陈鲁28探测系统性能检测方法、装置、探测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511807531.62025-12-02CN121721069A2026-03-24陈子林、吕肃、陈鲁29一种芯片标记检测系统及芯片标记检测方法发明专利公布CN202511788740.02025-11-28CN121558754A2026-02-24洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁30一种晶圆对准方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511788744.92025-11-28CN121586435A2026-02-27刘欢敏、黄强威、莫云杰、吕肃、陈鲁31一种产品的缺陷检测方法、缺陷检测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511789271.42025-11-28CN121903928A2026-04-21陈基荣、胡荣镇、贺金龙、陈鲁32膜层测量方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511724629.52025-11-21CN121476072A2026-02-06白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁33一种误差补偿修正方法及光学量测设备发明专利公布CN202511685493.12025-11-17CN121677548A2026-03-17胡荣镇、姜菲菲、贺金龙、陈鲁34一种面轮廓度的检测方法、检测设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511658951.22025-11-12CN121521012A2026-02-13姜菲菲、阎鹏飞、钟骏汶、贺金龙、陈鲁35一种光阑及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511646379.82025-11-10CN121348474A2026-01-16李灵佳、吕肃、陈鲁36电子束着陆角度的修正方法、半导体量测系统和存储介质发明专利公布CN202511642473.62025-11-10CN121557922A2026-02-24陈鲁、邵双方、吕肃37一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法发明专利授权CN202511599209.92025-11-04CN121049293B2026-02-24陈鲁、张鹏斌、梁文军、盛浩、杨楠、刘健鹏38一种光学系统及方法发明专利公布CN202610091649.12025-11-04CN121678702A2026-03-17陈鲁、张鹏斌、刘健鹏39一种暗场检测装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511597517.82025-11-03CN121298738A2026-01-09洪艮超、黄剑、张鹏斌、陈鲁40一种光学测量方法以及光学成像系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511590953.22025-10-31CN121207037A2025-12-26姚本溪、吕肃、陈鲁41一种套刻标记定位方法及套刻测量设备发明专利公布CN202511591802.92025-10-31CN121559815A2026-02-24吕肃、刘欢敏、吕帅、陈鲁42一种测量装置及增大翘曲测量范围的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511568161.52025-10-29CN121521009A2026-02-13陈鲁、尉佩、马砚忠43一种物镜调节方法及套刻测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511534872.02025-10-24CN121325356A2026-01-13吕肃、陈子赫、徐文琪、姚本溪、陈鲁44检测系统、检测系统的控制方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511508820.62025-10-21CN121475040A2026-02-06张越、张国星、马砚忠、陈鲁45采样点的确定方法、测量方法、测量系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511510933.X2025-10-21CN121476055A2026-02-06马砚忠、陈超、王南朔、何泊衢、陈鲁46一种光学检测装置和光学检测方法发明专利公布CN202511504329.62025-10-21CN121568562A2026-02-24陈鲁、张鹏斌、邓茜、黄剑、洪艮超47一种灯丝观测方法、装置及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511476742.62025-10-15CN121141713A2025-12-16吕肃、朱中道、陈鲁48干涉测量方法和干涉测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511464974.X2025-10-13CN121323472A2026-01-13郁健、尉佩、马砚忠、陈鲁49一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质发明专利授权CN202511445925.12025-10-11CN120912653B2026-03-31张鹏斌、王宗钊、李艳波、齐鑫、邵珠勇、胡诗铭、陈鲁50一种晶圆面型测量设备及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511448141.42025-10-10CN121185218A2025-12-23陈鲁、马砚忠、袁明波、郁健