北京
国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司取得一项名为“晶边曝光装置及曝光机”的专利，授权公告号CN224317913U，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，一种晶边曝光装置及曝光机，晶边曝光装置包括：光源波长均不同的多个LED光源模组，用于发出曝光光束；聚光模组，与LED光源模组一一对应，位于对应的曝光光束的光路上，用于将光汇聚至聚焦位置；与聚光模组一一对应的光纤，且输入端位于相对应聚光模组的聚焦位置处；光纤合束器，输入端与各个光纤输出端均连接。多个LED光源模组的光源波长均不同，能够根据不同工艺要求以及不同晶圆种类提供不同波长的光，提高晶边曝光装置的集成度和泛用性；而且，先通过聚光模组将光汇聚至聚焦位置，再通过光纤合束器对聚光模组形成的聚焦光束进行匀光，提高晶边曝光装置的光源利用率的同时，提高晶边曝光装置稳定性和工艺精度，从而提升晶边曝光装置的曝光性能。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息653条，此外企业还拥有行政许可125个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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