上海
消息面上，1）半导体设备国产化替代：国产设备技术突破加速替代进程。富创精密新增匀气盘等五大先进制程专项并量产，京仪装备半导体配套设备打破国外垄断，华海清科CMP设备占据国产市场90%份额，拓荆科技薄膜沉积设备实现技术突破。宏观层面，长鑫科技科创板IPO募资295亿元，昆仑芯及长江存储推进IPO计划，显示国内半导体制造资本开支增加。
2）先进制程与封装技术：需求激增推动设备升级。富创精密7纳米及以下零部件量产能力提升，大客户匀气盘订单同比增长156%。英特尔投资兆韩元布局先进封装，中芯国际攻坚2.5D/3D技术。
3）AI与算力芯片需求：全球资本开支高增长带动设备需求。字节跳动研发AI推理芯片，全球AI算力资本开支2030年将达1.5万亿美元，英伟达GB300功耗升至200kW推动供电升级。
4）存储芯片市场复苏：设备需求随产能扩张回暖。26Q1三大DRAM厂商营收季增77%，中国台湾存储IC设计厂商营收同比增175%，三星电子越南投资15亿美元建测试工厂。
5）功能性材料与湿化学品：国产化进程加速放量。安集科技功能性湿化学品收入同比增长63.73%，中船特气六氟化钨受益出口限制实现量价利齐升。
券商研究方面，银河证券指出半导体材料设备指数上周表现突出，周收益率达7.43%，年初以来累计收益67.24%，资金净流入规模居市场前列，显示市场对半导体上游核心环节的持续关注；该机构同时提到科创半导体材料设备指数覆盖科创板龙头企业，周收益率6.85%，年初以来收益71.25%，科创属性与长期成长性显著。
截至2026年6月2日10:56，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.20%，成分股中船特气上涨12.24%，新益昌上涨10.15%，欧莱新材上涨5.98%，盛美上海，安集科技等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.42%，最新价报1.9元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。
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