国家知识产权局信息显示,武汉驿路通科技股份有限公司申请一项名为“一种AWG芯片的制备方法”的专利,公开号CN122110374A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本申请提供了一种AWG芯片的制备方法,方法包括:对晶圆进行预处理;在晶圆沉积下包层和芯层;下包层为二氧化硅层,芯层为锗掺杂二氧化硅层;在晶圆上制备一级亚波长结构、二级亚波长结构和三级亚波长结构;一级亚波长结构处于AWG芯片的输入平板区,二级亚波长结构处于AWG芯片的阵列波导区,三级亚波长结构处于AWG芯片的输出波导区;在晶圆沉积上包层;上包层为二氧化硅层;对晶圆进行端面解理与耦合预校准,制备得到AWG芯片;对AWG芯片进行性能测试。本申请中,通过在晶圆上制备一级亚波长结构、二级亚波长结构和三级亚波长结构,实现输入平板区、阵列波导区、输出波导区串扰同步抑制,以此抑制串扰。
天眼查资料显示,武汉驿路通科技股份有限公司,成立于2012年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本4108万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉驿路通科技股份有限公司参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息198条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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