国家知识产权局信息显示,江苏新顺微电子股份有限公司取得一项名为“一种适用于桌面型反射式膜厚仪采集反射光谱的台盘装置”的专利,授权公告号CN224285832U,申请日期为2025年5月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种适用于桌面型反射式膜厚仪采集反射光谱的台盘装置,属于集成电路或分立器件制造技术领域。包括台盘,所述台盘底部设有真空箱体,所述台盘底部中心设置真空接管,所述台盘内腔通过真空接管与真空箱体连接;所述台盘顶面开设多组真空吸附孔组;所述真空箱体上设有真空开关;所述真空箱体与台盘之间设有旋转支架,所述旋转支架固定于台盘底部;所述旋转支架能够在真空箱体上旋转,带动台盘同步旋转;所述真空箱体下方设有移动单元,所述移动单元上设置镜面载台,所述镜面载台上设置斜面镜和平面镜。本申请简化了光谱采集流程,防止待测样品移位或晃动,提高测试精度,实现高效、稳定的膜厚测试。
天眼查资料显示,江苏新顺微电子股份有限公司,成立于2002年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10686.2522万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏新顺微电子股份有限公司参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息171条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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