上海
截至2026年5月25日午间收盘，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.66%，成分股盛美上海上涨15.47%，上海新阳上涨12.52%，拓荆科技上涨12.40%，艾森股份，雅克科技等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)上涨4.54%。
半导体设备板块2026Q1营收同比增长28.56%，归母净利润同比大增63.25%，净利率提升至17.63%。东莞证券认为，在AI算力需求与国产化替代双轮驱动下，晶圆厂扩产意愿增强，设备环节率先受益，订单能见度持续拉长，全产业链景气传导效应显著。银河证券则认为，受存储扩产及晶圆厂高稼动率下扩产预期推动，中微公司、华海清科、北方华创等设备龙头纷纷上调年度订单指引，板块景气度获实质性支撑，设备国产化节奏进一步提速。
值得一提的是，长鑫科技2026Q1营收同比激增719%，净利润达248亿元，大幅扭亏；长江存储亦于5月启动IPO辅导。东吴证券分析，两大存储龙头资本化进程加速叠加SK海力士等海外厂商业绩超预期，印证AI驱动下存储行业景气深度，上游设备环节将直接受益于扩产与技术升级需求。
数据显示，截至2026年4月30日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、沪硅产业、江丰电子、芯源微、南大光电，前十大权重股合计占比65.46%。
规模方面，截至2026年5月25日，半导体设备ETF万家最新规模达13.78亿元。资金流入方面，拉长时间看，半导体设备ETF万家近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”1.06亿元。
截至2026年5月22日，半导体设备ETF万家近1年夏普比率为2.63，排名可比基金1/5，同等风险下收益最高。
回撤方面，截至2026年5月22日，半导体设备ETF万家今年以来相对基准回撤0.37%。回撤后修复天数为35天，在可比基金中回撤后修复最快。
费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
万家中证半导体材料设备主题ETF(场内简称半导体设备ETF万家，159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。
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