中国芯片大佬罕见同台：坚定支持国产芯片设备！中芯国际800台设备来自它！

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（来源：半导体前线）

随着AI带来的全球算力需求爆发，我国半导体设备行业进入发展黄金期，刻蚀机作为半导体制造中的核心设备之一，其技术水平直接决定了芯片的精度、性能和功耗。

被誉为“中国刻蚀机之父”的中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧，做客央视财经《对话》栏目，畅谈归国创业、打破国际垄断、拓展泛半导体领域的奋斗历程，分享对产业竞争与发展蓝图的深度思考。

60岁归国，尹志尧放弃美国百万年薪与顶尖公司的高管职位，带着数百项专利的技术积累毅然回国。他的创业之路从一张白纸起步：“回国是非常敏感的一件事情，我们让所有回国的人签字画押，不许带任何文件，计算机也是新的，完全从零开始。”但这份“从一张白纸开始”的底气，来自他深耕行业数十年的技术沉淀：“在美国做了20年，我发明的东西都是自己想出来的，过去能想出来，现在就能想出更好的，我们绝不重复国外的技术，一定要有创新。”

技术创新、产品差异化、知识产权保护，成为中微创业初期坚守的三大核心原则。从零起步的自主创新，中微用三年时间打破了国外刻蚀机领域的长期垄断。尹志尧介绍：“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。”此外，中微首创的双台机设计，实现了单台设备同时刻蚀两片硅片，材料节省30%以上，且成本更低、性能更稳定。2007年，中微就推出了首台双反应台国产刻蚀设备，而这份突破的背后，离不开国产半导体产业的“双向奔赴”。

尹志尧回忆创业初期的支持：“还没决定回来的时候，我就问张汝京博士，如果我回国做设备，你支持吗？”中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京表示：“我一定支持。”

面对国产设备的试错风险，张汝京带头“吃螃蟹”：“试新的设备一定会有风险，这个时间成本我们来负责。”

张汝京表示：“我们试的时候不会贸然试很多，就是小批量的，先试5片、25片，再就是50片、100片，而且时间蛮长的，双方都要负责。比如我们用中微的设备，设备给我们的时候，我们并没有付钱，这是中微投资者的，但是后面测试时，芯片就是我们自己负责，时间成本是我们负责，大家配合很好以后成功了，这个投资绝对划得来。如果没有人使用国货，怎么会进步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要觉得我一试不好，不用了。”

正是这份包容与信任，让中微设备快速完成验证迭代，尹志尧透露：“到现在为止，中芯国际的设备至少800台来自中微。”尹志尧在节目中呼吁更多下游客户支持国产设备：“希望国内客户能给设备公司更多机会。”张汝京也表示：“如果没有人使用，设备永远不会进步。”

尹志尧表示，国内客户采用国产设备有一个思想的障碍，就是实际的数据证明，国外的领先设备引进后，一进生产线问题很少。可是国内的设备一进生产线，开始总有很多问题，需要花很多时间解决。这是一种先入为主的概念，认为国外的设备比较好，而国内设备有很多问题。

尹志尧以其20年在美国工作的经验分享称：“其实海外设备厂商每一台新设备进入最先进像台积电的、三星这样的客户产线时，一开始的表现也是并不完美。也是需要经过两三年，并在台积电、三星这样领先的公司帮助下，逐渐将设备调试改进得越来越好，客户也提了很多意见。然后当这个设备引入到中国时，实际上已经经过两三年的历练了，所以国内客户拿到的时候肯定是好的。国产设备一开始进入国内生产线，也同样会存在问题，并不是说国内设备真的就做得不好，是因为环境不一样。所以希望国内客户能给国产设备企业更多机会。”

从刻蚀设备到泛半导体领域，中微的长期主义持续拓展新边界。2023年12月，中微决定进军大平板显示设备领域——这一领域17种核心工艺设备全部依赖进口，而全球70%的OLED生产线都建在中国，自主可控迫在眉睫。尹志尧坦言：“按行业经验，开发一台150吨重、两层半楼高的超大平板设备，至少需要3到5年，甚至可能7年。但中微团队用12个月就把设备做好并实现运转，18个月便运抵生产线，两年内实现核准投产。我们现在有能力做最先进的设备。”从技术回流到身份回归，82岁的尹志尧用了22年时间，将一家初创公司打造成市值超2000亿元的行业标杆。面对行业沉浮，他始终坚信，半导体设备是产业的“底座”，需要长期投入与开放竞争。