北京
国家知识产权局信息显示，北京芯源科技有限公司取得一项名为“一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置”的专利，授权公告号CN224204095U，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本实用新型公开了半导体制造设备技术领域的一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置，包括固定于升降平台上方的传感器支架，所述传感器支架的表面开设有中心槽，且中心槽的周侧分布有多个检测槽，所述传感器支架通过安装架固定有多个与检测槽相匹配的位移传感器，且每个位移传感器均位于检测槽上方设置，所述安装架包括L型主安装架以及安装L型主安装架一侧的L型辅助安装架，所述位移传感器通过传感器安装支架安装于L型辅助安装架表面，所述位移传感器电性连接有PLC控制柜，且PLC控制柜电性连接机台和触摸屏。本实用新型能够实时监测晶圆在传输过程中的微小偏移并触发报警，避免晶圆与机械手或密封门碰撞，保障生产安全和设备稳定性。
天眼查资料显示，北京芯源科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京芯源科技有限公司参与招投标项目1次，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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