北京
国家知识产权局信息显示，蓝河科技（绍兴）有限公司取得一项名为“基座和气相沉积装置”的专利，授权公告号CN224172856U，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本申请提供了一种基座和气相沉积装置。基座包括承载面、收容腔体、驱动气体输送管路、导气流道、集气槽和排气管道，收容腔体设于承载面，顶面开口以放置基板承载件或基板；导气流道设有至少一个且设置于收容腔体的腔体内底面，导气流道包括与驱动气体输送管路相通的近端部，使驱动气体沿导气流道朝向导气流道的末端部流动；集气槽设有至少一个并与导气流道一一对应设置，集气槽围绕导气流道的末端部设置，集气槽内设有至少一个第一排气口；排气管道设于基座，与各第一排气口相通以将进入排气管道的驱动气体朝向基座的底部方向排出。本申请通过实现驱动气体朝向基座底部的排气，避免或减轻因驱动气体外逸对基板上方的工艺气体流场造成的不利影响。
天眼查资料显示，蓝河科技（绍兴）有限公司，成立于2020年，位于绍兴市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本431.028538万人民币。通过天眼查大数据分析，蓝河科技（绍兴）有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息47条。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
