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国家知识产权局信息显示，艾克塞利斯科技公司申请一项名为“使用衍射图案的扭曲和倾斜验证”的专利，公开号CN121925539A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，光源以斜角将入射光束引导至载物台上工件的表面处。检测器对从工件反射的入射光束的衍射图案进行成像。基于衍射图案确定工件在载物台上的扭转角与倾斜角中的至少一个。工件可以是半导体晶圆，载物台例如可以是离子注入机的一部分。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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