为了省钱，台积电表示1.2nm也不用最新的EUV光刻机，ASML麻烦大了

台积电在最近公布的技术路线图里明确表示，即便到了未来的1.2nm制程节点，也不会采购ASML最新的High NA EUV光刻机。这个决定一出来，整个行业都在讨论：台积电到底在打什么算盘？而对ASML来说，自己最大的客户不买自己最新的产品，这日子可就不太好过了。

一、EUV光刻机是芯片制造的"命根子"，这绝对不是危言耸听

要理解这件事的分量，先得搞清楚EUV光刻机到底是个什么东西。简单来说，造芯片就像在硅片上"画电路图"，线条越细，芯片的性能就越强、功耗就越低。但线条画到几纳米级别，传统的光刻技术已经力不从心了，必须用一种波长极短的极紫外光来"刻"电路。而EUV光刻机，就是干这件事的设备。

这玩意儿有多贵呢？一台售价大约1亿美元。有多难造呢？全世界只有荷兰的ASML一家公司能生产。没有替代品，没有第二供应商，ASML就是这个领域的绝对垄断者。

正因为如此，包括台积电、三星、英特尔在内的全球先进芯片制造商，都得从ASML手里买设备。你不买，你就造不了最先进的芯片。这不是选择题，这是必答题。ASML的EUV光刻机卖得有多好？从2018年第一台商用EUV光刻机出货到现在，全球累计装机量已经超过200台，其中台积电一家就占了大头。可以毫不夸张地说，台积电是ASML最重要的客户，没有之一。

二、High NA EUV来了，但台积电没买单

不过ASML也明白一个道理，那就是不能光靠卖1亿美元一台的设备过日子，得让客户持续"升级换代"。于是，2024年，ASML推出了他们口中"下一代"的光刻技术——High NA EUV光刻机。

这台新设备有多先进？它的数值孔径从原来的0.33提升到了0.55，理论上可以支持更精细的图案化能力，能够处理2nm以下、乃至未来1nm级别的制程节点。当然，价格也水涨船高，一台High NA EUV光刻机售价高达4亿美元，是现有EUV光刻机的四倍。

ASML推出这台设备的逻辑很清楚：你们要继续缩小制程，就得买我的新机器。就像手机厂商每年推新款一样，总得有人买单。但让ASML没有想到的是，台积电的反应非常冷淡。台积电并没有在第一时间下单采购High NA EUV光刻机。反倒是英特尔比较积极，率先引进了这台设备。而台积电的态度一直是"先看看再说"。当时很多人觉得，台积电可能只是暂时观望，等技术成熟了自然会采购。

然而最近，台积电直接把自己的态度摆到了台面上，在公布未来几年的技术路线图时。按照这个路线图，，即使到了1.2nm制程阶段，台积电也不会使用High NA EUV光刻机，这个决定可以说是非常"台积电"的风格。

三、台积电的逻辑也很简单，那就是省钱才是硬道理

台积电为什么拒绝High NA EUV？说白了就两个字：不值。目前台积电手里的现有EUV光刻机完全够用。别看High NA EUV宣传得天花乱坠，但台积电通过优化现有的EUV光刻工艺，在多次曝光等技术的加持下，完全能够用0.33 NA的设备来实现2nm甚至1.2nm级别的图案化。换句话说，台积电觉得"老机器"还能再战好几年，根本没必要花4亿美元去买新机器。

并且更换设备的成本远不止设备本身的价格，一条芯片产线上不只有一台光刻机，而是一整套复杂的系统。要引入High NA EUV，意味着整条产线的配套设备、工艺流程、材料体系都要跟着调整。这些隐性成本加在一起，远远超过4亿美元的标签价。对于台积电来说，这笔账怎么算都不划算。

而且台积电历来就是出了名的"抠门"，当然了，这里的抠门是褒义词。张忠谋时代就反复强调成本控制的重要性，台积电之所以能在代工领域击败三星和英特尔，除了技术实力过硬之外，极致的成本管控能力也是一大核心竞争力。在台积电看来，花大价钱去买一台"锦上添花"而不是"雪中送炭"的设备，完全违背了他们的经营哲学。

当然了，还有一点不能忽略，那就是台积电的客户也未必愿意为此买单。苹果、英伟达、高通这些大客户关心的是芯片性能和交付时间，至于晶圆厂用的是什么光刻机，他们并不在意。如果引入High NA EUV导致芯片代工价格大幅上涨，这些客户可能第一个不答应，台积电没必要为了买新设备而得罪自己的客户。

四、台积电不买账，ASML的麻烦大了

台积电的这个决定，对ASML来说绝对不是一个好消息。要知道，台积电在全球先进制程芯片代工市场的份额超过60%，是ASML最大的客户。如果台积电不采购High NA EUV，那ASML指望靠这款新设备拉动营收增长的算盘就落空了大半。

目前明确采购High NA EUV的客户主要就是英特尔，但英特尔自己的代工业务还在起步阶段，订单量有限。三星虽然也表达了兴趣，但三星的先进制程良率一直是个问题，产能扩张的节奏也远不如台积电。换句话说，真正有能力大量采购High NA EUV的客户，偏偏不买。

当然，ASML也不是完全没有办法。一方面，它可以通过降价或者提供更灵活的商务条款来吸引台积电。另一方面，从长期来看，当制程继续微缩到1nm甚至更小的时候，现有EUV光刻机的物理极限迟早会被触碰到，到那时候台积电可能还是不得不采购High NA EUV。但那是以后的事了，至少在未来几年内，台积电不买账这件事，足够让ASML头疼一阵子。

五、写在最后

台积电不购买ASML最先进的EUV光刻机，其实反映了一个很朴素的道理：再先进的技术，如果客户觉得"不值"，那它也卖不动。ASML手里握着全球独一无二的光刻技术，但这并不意味着它可以让客户无条件买单。而台积电用实际行动证明了：我可以用现有设备把活干好，为什么要多花四倍的钱？

对ASML来说，High NA EUV是押注未来的战略产品，但战略归战略，订单归订单。如果连台积电都不捧场，那ASML就得重新想想自己的市场策略了。毕竟在半导体这个行业里，技术领先是一回事，能不能让客户掏钱又是另一回事。