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美国的阳谋:等中国的光刻机全坏掉,就无法完成高端芯片的制造了

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围绕着芯片制造最核心的那台设备,也就是光刻机,美国跟中国之间的博弈已经持续了好几轮,而最让人觉得"阴损"的地方在于,美国这回连藏都懒得藏了,它就是明着告诉你:我等你手里那些光刻机一台台坏掉,看你拿什么来造高端芯片。

2022年的10月份,那个时候美国商务部推出了一版出口管制规则,主要瞄准的是14nm以下的逻辑芯片制造设备,128层以上的NAND闪存设备,还有18nm以下的DRAM内存设备。

然后到了2023年10月,美国对禁令做了一次大幅度升级,力度之大超出了很多人的判断。这次更新特别针对光刻机的DCO限值做了更严格的设定,结果就是连NXT:1980Di这款ASML此前唯一还能对华出货的浸润式高端型号,也被彻底拦下来了。



其实在禁令落地之前,国内的企业早就开始了抢购。根据当时的贸易数据,光2023年前三个季度,中国从ASML进口光刻机的总金额就突破了400亿元人民币,业内估算其中浸润式光刻机的数量大概有100台左右。加上以前几年陆续买进来的存量,国内晶圆厂手里的DUV光刻机真的不算少。

直到美国商务部那位主管工业与安全事务的副部长艾伦·艾斯特韦斯接受采访的时候,讲了几句话,才让很多人猛然意识到事情没那么简单。他的原话大意是:管制同样涉及这些产品的零部件和后续支持,这些机器迟早或多或少地都会出故障。

这才是美国这盘棋真正厉害的地方。它压根不跟你争今天谁手里的机器多,它赌的是一个"拖"字。随着生产线日夜不停地运转,这些设备会陆续开始出毛病,需要检修的时候找不到原厂工程师,需要更换的关键部件拿不到货,那这些机器就只能一台一台地趴窝,慢慢变成车间里最贵的废铁。



不过,阳谋之所以叫阳谋而不叫必杀技,就是因为它能不能成功是有前提的。仔细想想美国这个策略要真正奏效,至少得满足几个条件:中国的工程师修不了这些设备,中国的供应链也造不出替代的备件,同时国产光刻机在短期内还突破不了。

从目前公开能看到的信息来讲,国内在这几个方向上确实都在发力。设备维保这一块,部分晶圆代工厂这两年一直在摸索独立维修的路子,虽然像光源模组、高精度透镜组这种核心部件的检修难度很大,但至少在常规保养和一些易损件的更换上已经有了一定的积累,不再是完全两眼一抹黑的状态。

备件国产化这一块,国内做精密光学和超精密加工的企业也在攻关,有些原来完全依赖进口的耗材和部件已经开始出现了国产替代的方案。虽然离完全覆盖还有很远的路要走,但方向是对的,速度也比很多人预想的要快。



至于最根本的国产光刻机突破,这条路毫无疑问是最难的,但也是最彻底的解决办法。上海微电子作为国内光刻机研发的主力,这些年在持续推进更高制程能力设备的开发。当然跟ASML几十年的技术沉淀和整套全球化的供应链体系比起来,差距依然摆在那里,谁要是说国产EUV光刻机马上就能出来那肯定是说大话了。

但中国在技术领域有一个特别明显的规律,越是被卡脖子的东西越是能激发出惊人的攻关速度。北斗导航是这样,空间站是这样,大飞机也是这样。今天芯片领域遭受的封锁力度越大,反过来给国产替代注入的紧迫感和资源投入也就越强。

回过头来看美国的这步棋,它卡的不是眼前而是未来,打的不是正面而是后勤补给线。但问题在于它给自己设定了一个隐含的时间窗口:必须在中国搞定自主维修和国产替代之前,让足够多的进口光刻机趴窝。

如果这个窗口期被中国的产业链追赶速度抢在前面关上了,那所有的等待都将落空。而这场围绕光刻机的持久博弈到底谁能笑到最后,比的从来不是谁的禁令更狠,而是谁的技术进化更快、产业韧性更强。



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