如何给芯片“洗澡”？

提到国之重器，

你联想到的是否都是

那些可以“上天入海”的

庞然大物？

然而今天，

小新要给大家讲述的这件重器

却无色无形、微如点滴。

它看上去“不起眼”，

却是中国芯片产业不可或缺的重要组成。

芯片制造，竟然要“洗澡”！

芯片线路微细至3纳米，

仅相当于头发丝直径的两三万分之一。

一粒肉眼不可见的尘埃，

一丝微乎其微的杂质，

都可能造成“山崩地裂”的危害，

直接损毁芯片架构，

导致短路、漏电乃至整片晶圆报废。

因此，在芯片制造的过程中，

往往需经历数百道清洗工序，

占据总工序的30%以上。

可以说，

清洗工序是决定芯片良率的关键环节。

那么，

到底应该用什么来洗涤呢？

普通水？不行。

自来水里的离子、颗粒、细菌等，

每一样都是

损坏芯片的“潜在凶手”。

给芯片“洗澡”必须用超纯水——

没有细菌、没有颗粒、

没有离子、没有溶解气体……

如果用四个字来形容

那便是“极致纯净”。

但是，光洗干净还不够，

无痕干燥同样决定芯片成败。

超纯水清洗之后，

接下来就轮到

电子级异丙醇（IPA）登场了。

追求“极致纯净”，到底有多难？

极致纯净，

是电子级异丙醇最重要的特征。

为了衡量这种纯净度，

我们需要引入一个概念：

PPM（百万分之一）。

如果说工业异丙醇的

最高质检量级PPM

相当于在一个200升的浴缸水中

检测出一滴墨水，

那么电子级异丙醇的

最高质检量级PPT（万亿分之一），

则要从一个体量约等于两个未名湖的

湖泊中（约为20万立方米）

找出那一滴墨水。

从PPM到PPT，

一个字母的差别，

精度要求陡增百万倍，

方法体系、环境条件、

操作逻辑也需要跟着升级。

长期以来，

因为极高的技术壁垒，

这种核心“清洗液”的供给

都被国外企业牢牢把控。

不仅价格昂贵，

而且交货期漫长，

周期长达数月，

更存在被“卡脖子”的断供风险。

这既是我国芯片产业

自主道路上的一大阻碍，

也是必须克服的挑战。

打破垄断！

中国石油五十年磨一“剑”

如今，

这一困扰我国芯片产业多年的重大难题

被中国石油锦州石化

依托五十载产业深耕

与迭代升级成功破解。

中国石油锦州石化生产的

G5级电子异丙醇，

作为芯片干燥脱水的关键溶剂，

能完美置换晶圆表面水分，

实现无水痕、无残留的极致干燥，

且温和无腐蚀，

完美适配7nm、14nm先进制程，

并可支撑更先进工艺节点。

纯度要求达到99.9999%，

金属杂质含量控制在万亿分之一级别，

容不下任何一丝瑕疵，

成为当前芯片清洗界可靠的“主力军”。

早在1976年，

中国石油锦州石化

便建成了当时亚洲最大、

国内唯一的异丙醇生产基地。

以超六成的市场份额引领国内行业发展，

并主导制定了异丙醇国家标准。

“十四五”规划末期，

锦州石化G3/G5级异丙醇装置建成投产，

成为国内第一家实现

高端电子级异丙醇

规模化生产的央企。

作为国内唯一拥有

专业异丙醇应用技术研发队伍的企业，

中国石油锦州石化实现了原料自给，

并拥有完全自主知识产权与研发核心技术。

尤其值得瞩目的是，

这支专业异丙醇应用技术研发队伍

——电子级IPA生产团队，

是一支平均年龄仅26岁的年轻团队。

中国石油锦州石化将

最核心的装置托付给了

这群刚走出校门的年轻人。

没有经验可循，

便在建设中“摸爬滚打”；

没有规范可依，

便在试生产中归纳沉淀。

短短几年间，

他们与装置共同成长，

淬炼成为支撑大国产业的中坚骨干。

如今，中国石油锦州石化生产的

G5级电子异丙醇

已实现稳定供货、出口海外，

关键指标长期稳定优于国际行业标准，

在全球高端电子化学品市场

亮出了中国实力。

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责任编辑丨陈伊南

校对丨陈婷 程镜睿

执行主编丨张灏然

内容来源丨中国石油