国产突破！常州大学成功制备 99.9999% 高纯电子级氯气打破海外垄断

近日，常州大学科研团队传来重大喜讯：成功自主研发并制备出纯度高达 99.9999%（6N 级）的高纯电子级氯气，一举攻克长期困扰我国半导体产业的关键材料 “卡脖子” 难题，标志着我国在高端电子特气领域实现从跟跑到并跑、再到部分领跑的历史性跨越。

一、核心突破：6N 级纯度，比肩国际顶尖水平

高纯电子级氯气是半导体制造中不可或缺的 “工业血液”，主要用于芯片的干法刻蚀与腔体清洗环节。其纯度直接决定芯片的良品率与性能，先进制程（28nm 及以下）对气体纯度要求严苛，必须达到6N（99.9999%）级标准，即百万分之一级杂质控制。此前，该技术与市场长期被美国空气化工、德国林德、法国液化空气、日本大阳日酸等海外巨头垄断，国内高度依赖进口，不仅价格高昂、供货周期长，更存在供应链断供的战略风险。常州大学此次突破，实现了该材料的自主可控、品质达标，技术参数直接对标国际一流供应商。

二、产业利好：降本、保供、强链，三重价值凸显

1、供应链安全加固，摆脱 “卡脖子”

彻底扭转高端氯气完全依赖进口的被动局面，阻断外部技术封锁与断供风险，为中芯国际、华虹、长江存储等本土晶圆厂构建安全稳定的原材料供给体系，保障芯片生产线连续稳定运行。

2、制造成本大幅下探，提升产业竞争力

国产替代将直接打破海外高价垄断，预计可使采购成本降低 30%-50%，有效缓解晶圆厂成本压力，提升我国半导体制造环节的全球价格竞争力，助力先进制程规模化扩产。

3、加速电子特气国产化，完善产业生态

作为电子特气的核心品类，6N 氯气的突破将带动上游纯化技术、下游检测应用全链条协同进步，推动电子级氯化氢、三氟化氮等配套材料国产化提速，加速构建自主可控的半导体材料生态。

三、深远影响：科技自立自强，赋能半导体强国建设

• 战略层面：是我国在关键核心技术领域实现自主可控的标志性成果，彰显高校科研力量服务国家战略需求的硬核实力，为科技自立自强注入强大信心。
• 产业层面：直接支撑 12 英寸晶圆、28nm 及以下先进制程芯片制造，助力我国在存储、逻辑芯片等高端领域突破产能瓶颈、提升技术能级，为人工智能、新能源汽车、数据中心等战略产业提供坚实的芯片材料保障。
• 行业层面：树立 “产学研” 协同创新标杆，激励更多高校与企业投身高端电子化学品研发，加速我国电子特气行业从低端向高端、从分散向集聚、从进口向出口转型，推动中国从电子特气大国迈向强国。