上海
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“位置标定方法”，专利申请号为CN202411779613.X，授权日为2026年4月14日。
专利摘要：本申请实施例提供了一种位置标定方法，用于标定干燥设备，干燥设备还包括承载盘、喷杆和支撑臂，承载盘用于在干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆，喷杆用于向晶圆喷射流体，喷杆设置在支撑臂上，支撑臂用于调整喷杆的位置；位置标定方法包括标定盘和喷嘴指向件；标定盘用于装配在喷杆与承载盘之间，且与承载盘平行，标定盘靠近喷杆的侧面设置有标识区域；喷嘴指向件可拆卸连接在喷杆上，喷嘴指向件具有位于喷杆的喷射路径上的尖端，通过调整支撑臂上喷杆的位置，使得喷杆带动喷嘴指向件的尖端对准标识区域，对喷杆的喷嘴进行位置标定。本方案降低了对喷杆进行位置标定的难度。
今年以来华海清科新获得专利授权23个，较去年同期减少了23.33%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。
通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息91条，专利信息791条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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