美议员提议：只要是ASML制造的DUV光刻机，不允许进入中国大陆

前沿导读

据《联合早报》新闻指出，美国国会议员提出新法案，要求收紧在制造设备上面的出口管制，重点约束荷兰ASML、日本东京电子等企业的对华出口。

新法案包括禁止相关企业工程师在中国部分地区对已有的设备进行维护和维修服务，而且还要在现有的技术管控上再次将范围扩大，对ASML制造的所有浸润式DUV光刻机实施更加严格的限制。

目前荷兰仅要求ASML对部分先进的浸润式光刻机申请出口许可，并且针对的客户群体有限，并没有覆盖所有中国客户。新法案的落地，将会把覆盖范围拉到最大，完全禁止DUV光刻机与中国企业之间的联系，极大压缩ASML中国区的生存空间。

参考资料：
美议员提议收紧荷兰日本企业对华晶片设备出口管制 | 联合早报网

• https://www.zaobao.com/news/china/story20260403-8836891

持续施压

2018年，就在美国重启对中兴的制裁之后，中芯国际用1.2亿美元的价格紧急向ASML订购了一台EUV光刻机。

这个采购价格相当于中芯国际前一年的全年利润，也在侧面凸显出了EUV光刻机对于中国芯片制造业的重要程度。没有这台设备，中芯国际的国产7nm工艺就无法进入测试阶段，更不要说实现量产了。

EUV光刻机属于欧洲企业制造的芯片产业最顶级的工业设备，需要受到《瓦森纳协议》的影响。《瓦森纳协议》是由美国主导建立的制裁条例，禁止欧美地区的企业未经允许将最先进的科技设备运送到中国本土企业手中。

不过ASML发言人表示，此次合作并没有违反瓦森纳协议，所有客户都是平等的，而且中芯国际是由美籍华人张汝京所建立，其股东构成多元化，业务板块面向全球，EUV光刻机出口到中国完全没有问题。

参考资料：
日媒：中芯1.2亿美元下单最先进EUV光刻机，相当于去年利润

• https://www.guancha.cn/industry-science/2018_05_17_457129.shtml

但是时至今日，这台EUV光刻机不但没有交付给中芯国际，反而还连带着上一代浸润式光刻机也被实施限制。

根据复旦大学一带一路及全球治理研究院发布的资料显示，2019年12月，瓦森纳协议进行了新一轮修订，新增了对计算光刻软件、12英寸大硅片切磨抛技术的出口管制。随后美国工业和安全局便依照瓦森纳协议新增加的项目，对中国芯片产业实施更加严厉的制裁措施。

参考资料：
“瓦森纳安排”转向，技术打压中国？ - 研究资讯 - 复旦大学一带一路及全球治理研究院

• https://brgg.fudan.edu.cn/articleinfo_2788_9.html/images/images/webeditor/uploadfile/file/articleinfo_3695.html

2020年，被美国列入实体清单的中国企业将无法获得制造10nm及以下技术节点的产品或技术。

2021年，美国联合欧洲、日本、韩国、中国台湾企业在内的64家半导体供应链组建美国半导体联盟（芯片四方联盟），开始在供应链层级对中国自主芯片实施出口管制。

2023年，日本宣布扩大半导体制造设备的对华出口管制，将涉及芯片制造的6大类23种设备事实限制。同年，ASML发布公告称，对于部分敏感的中国芯片企业，将无法获得NXT:1970i及以上型号的浸润式光刻机。

参考资料：
日本政府宣布计划限制6类23种芯片制造设备出口，外交部回应

• https://world.huanqiu.com/article/4CIk7e3tuc1

从整个半导体产业的发展历史上面来看，美国对中国芯片产业实施的制裁力度是巨大的，也是持续时间最长的，同时也是影响最深远的。

如果将中国芯片这些年受到的制裁措施，放在其他国家企业身上，那么没有人能够顶住如此大规模的“制裁轰炸”，但是中国企业不同。中国企业不但掌握了7nm芯片的国产化制造，而且还在光刻机、硅片、制造设备、制造材料等多个领域实现了跨越式发展。

寻求突破

据ASML官方近几年发布的声明表示，EUV是被完全禁止出口给中国企业，哪怕是韩国企业在华合资工厂也不允许购买。

而上一代的浸润式DUV光刻机，中芯国际、华虹这些中国大陆地区的自主企业此前囤积过一批ASML的光刻机设备，现在已经被禁止向ASML继续采购浸润式光刻机。

其他合资企业，例如三星西安工厂、SK海力士无锡工厂、台积电南京工厂可以根据实际情况给予出口批准，并且这些合资工厂也可以获得来自于美国企业的设备材料。

为了压制中国本土企业发展，美国还敦促ASML禁止为中国企业提供设备的售后维修服务。

但ASML中国区总裁沈波在进博会上表示，从1988年ASML将第一台设备运到中国之后，中国市场就是ASML的重要客户市场，中国市场上留存的光刻机与测量台，总装机数量已经达到了1400台，ASML将会在合规的情况下继续为中国企业提供服务。

中国市场此前为ASML贡献了40%以上的销售占比，是ASML全球第一大客户市场。

ASML前CEO彼得·温宁克在接受国际媒体采访时表示，禁止ASML与中国市场建立有效的合作关系，这是在损失西方国家的经济利益。禁止他们购买ASML的设备，他们会寻求进步自己开发。一旦中国企业开发出他们自己的制造设备，那么下一步便是依靠自主设备与国际企业展开竞争。