国家知识产权局信息显示,成都新紫光半导体科技有限公司申请一项名为“晶圆缺陷的处理方法”的专利,公开号CN121763659A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本公开涉及一种晶圆缺陷的处理方法,该方法包括:将待处理晶圆进行无图案曝光,得到曝光后的晶圆;其中,所述待处理晶圆具有缺陷;将所述曝光后的晶圆与显影液接触进行显影,得到显影后的晶圆;使用清洗介质对所述显影后的晶圆进行清洗,得到清洗后的晶圆。本公开方法能够实现对顽固残留物等晶圆表面缺陷的有效去除,改善晶圆质量,提高产品良率。
天眼查资料显示,成都新紫光半导体科技有限公司,成立于2022年,位于成都市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,成都新紫光半导体科技有限公司专利信息80条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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