AI时代下半导体绿色厂务技术路线全景解析

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（来源：SEMI）

3月27日，SEMICON/FPD China 2026同期论坛——绿色厂务国际创新论坛成功召开，汇聚产学研用各方力量，共同破解技术瓶颈、分享实践经验、构建合作生态，推动绿色厂务从“概念创新”走向“规模落地”，为全球半导体产业的低碳未来注入核心动能。

论坛由中国电子系统工程第二建设有限公司高级副总经理李涛主持。

SEMI中国总裁冯莉在开幕致辞中说道，在AI时代以及数字化产业推动下，半导体产业正经历着一场面向未来的产能扩张。根据SEMI最新数据，2026-2028年的全球300毫米晶圆厂设备支出预计高达3740亿美元。这意味着，推动 “半导体绿色厂务”转型，已从一项环保议题升级为关乎未来工厂核心效能的战略投资。作为半导体生产的“能源中枢”与“环境管家”，厂务系统承担着工厂近60%的能耗与80%的水资源消耗。期待本场论坛10多位来自全球的领先专家分享他们的真知灼见，共同探讨半导体产业链的可持续发展能力与全球碳足迹承诺的兑现。

富士康（鸿海）科技集团环保长/副总经理洪荣聪在欢迎致辞中分享了《AI时代的半导体绿色厂务趋势》。在AI驱动下，2025年全球半导体营收达7917亿美元，同比增长25.6%。先进工艺催生了算力需求，却也导致能耗与排放激增，带来环境挑战，这正是绿色厂务存在的价值。将AI技术应用于绿色厂务管理，例如通过机器学习预测厂务热负载，实现能源智慧调度，预计可降低全厂10%-20%的电力损耗。随着AI技术进化，管理范式将从“静态自动化”进化为 “智能体自主”，实现效能大幅提升。他以富士康案例揭示了要建立体系推动智能双轴转型——AI芯片不只是产品，更是绿色厂务的工具。

京东方科技集团股份有限公司副首席建设官李彦带来了《净零之路：显示行业的可持续发展》主题演讲。基于国内新型显示行业可持续发展趋势，京东方从行业低碳格局、绿色厂务实践、产业链协同等方面，分享了企业可持续发展的路径和措施，为推动行业2050年碳中和提供借鉴。

京东方能源科技股份有限公司零碳技术研究院院长张海勇分享了《AI焕新 | 人工智能助力零碳工厂建设》主题演讲。随着“双碳”目标深入推进，能源系统正从传统管理走向智能协同，AI已经从辅助工具转变为能源体系的核心驱动力。他分享了京东方在AI+零碳工厂方面的应用场景和实践案例，为助力企业零碳数字化转型提供思路。

施耐德电气（中国）有限公司数字能效业务数字化交付团队总监靳艳萍在《智算能源：电子行业AI能效革命》主题演讲中指出，目前电子行业正面临产业升级和能源成本飙升的挑战，叠加双碳目标的刚性约束，电子行业的转型迫在眉睫。然而半导体厂房在节能上同样面临许多挑战，包括生产端对工艺稳定的严苛诉求、动力端面临传统控制的能效瓶颈以及稳定与能效之间的矛盾，解决方案是引用AI智能控制系统，促成从“反馈”到“前瞻”的升级，实现基于数据驱动的主动式环境与能耗管理。

北方集成电路技术创新中心智能制造之智慧厂务负责人彭素素在《AI赋能的下一代半导体智慧厂务系统》主题演讲中讲解了北方集成电路技术创新中心依托中试线平台，以“大线出题、小线答题、小线突破、大线放大”的创新模式，在保障系统稳定和信息安全的基础上，成功构建并落地智慧厂务智能化系统，实现厂务端与FAB端数据安全打通，达成能源流、信息流、业务流“三流合一”。项目通过AI技术、数字孪生、多尺度特征合并、知识数据融合建模等核心技术，在能耗优化、碳管理、设备预测性维护、耗材全生命周期管理等方面取得显著成效。

霍尼韦尔智能建筑集团战略销售部高端制造行业负责人胡立博发表了《半导体厂房智能化高效运维与安全预防》主题演讲。他提出，半导体厂运维的困扰包括能源消耗、严格的环境控制需求、设备之间存在信息交叉捆绑、运维低下等。针对未来对半导体行业提出的数据安全与合规的要求趋势，霍尼韦尔提出了多系统融合以节能降碳、以精准控制提升能效、通过预测性维护降低运维成本、利用网络安全保证系统稳定这些方案，可有效解决半导体厂务在能效与环境管理中的核心痛点。并在现场演示了VESDA产品的demo。

武汉华康世纪洁净科技股份有限公司电子洁净事业部技术总监王建刚分享了《电子洁净厂房能耗指标的建立》主题演讲，系统介绍了由SEMI S23标准定义的ECF（Energy Conversion Factor，能源转换系数）核心能效指标在半导体厂务系统中的研究与实践。他通过对不同系统分析计算得出的数据进行对比，指出ECF不仅可在设计阶段指导精准选型与系统配置，还可通过集成公式为厂务端提供年能耗预估算方法，推动设计、工程与运维环节的数据闭环。

林德（中国）投资有限公司技术总监朱珩讲解了《电子制造业中的绿色环保气体应用》，重点介绍了利用液氮、液氩等工业气体的物理特性实现节能与减排的创新技术。针对半导体工厂普遍存在的液氮气化过程中冷量浪费、同时制冷系统又需消耗大量电力为循环水降温的矛盾，演讲提出采用冷量回收装置（CER），通过高效热交换器捕获液氮气化时的冷量并传递给循环冷却水系统，从而降低制冷机组电负荷，实现能源高效利用并助力可持续发展。

西门子智能基础设施集团电子半导体行业销售总监容玮悦分享了《西门子数字化低碳化解决方案：助力半导体企业实现绿色转型》主题演讲，在降本增效、法规政策、能源转型及可持续发展等多重驱动下，能碳管理已成为电子半导体企业绿色转型的主要行动。针对半导体工厂耗能巨大、厂务系统用能占比高且子系统庞杂等挑战，西门子提出以低碳数字化解决方案构建绿色厂务管理体系，涵盖绿色智能配电、制冷站优化节能、围绕风光储充系统的智能搞笑优化调度及全链路碳管理等关键场景。

中国电子工程设计院股份有限公司首席技术官杨光明分享了《绿色智能工厂全过程解决方案 助力先进电子制造业高质量发展》压轴演讲。与全球平均水平相比，我国的单位GDP能耗仍偏高，经济增长对能源消耗增长的依赖程度依然很高，其中计算机、通讯和其他电子设备制造业能耗增长最快，节能环保成为高科技工厂的必答题。另一方面，半导体工厂规划还面临来自工艺精密化的挑战，对工厂提出了在洁净度、污染、静电、振动等指标上的高要求。他讲解了通过在生产制造系统、生产支持系统、环境保障系统、建筑及其他系统四个方面打造绿色工厂的全过程解决方案。

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