北京
国家知识产权局信息显示，安徽国芯智能装备有限公司申请一项名为“光刻机高速高精度工作台定位校准方法”的专利，公开号CN121634729A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明涉及光刻机工作台技术领域，公开了光刻机高速高精度工作台定位校准方法。该方法包括采集工作台位置数据与运动参数，分析位置误差和运动稳定性匹配程度，生成位置误差控制参数集；再基于该参数集，提取环境干扰值与梯度变化量，分析环境干扰对定位精度的影响，调整环境补偿参数以生成环境优化参数集；随后依据环境优化参数集，分析工作台高速运动下的动态响应，调整控制输入速率与反馈路径分布比例，重新分配控制参数分布趋势和动态值，得到动态调整结果；最后基于动态调整结果生成异常干预数据集，再据此分析目标位置分布比例与校准时间，调整目标校准路径参数，生成定位校准数据表。
天眼查资料显示，安徽国芯智能装备有限公司，成立于2019年，位于合肥市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本2012万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽国芯智能装备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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