北京
国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种高低能离子注入机的束流Glitch监测方法及装置”的专利，公开号CN121641794A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种高低能离子注入机的束流Glitch监测方法及装置，方法包括步骤：实时获取离子注入机的束流监测参数，包括终端束流和预设ESI阈值；在离子注入机处于高能模式时，终端束流为第一引出电源的电流值；在离子注入机处于低能模式时，终端束流为第一引出电源电流值与减速电源电流值之差；比较所述终端束流与预设ESI阈值；若所述终端束流持续低于所述ESI阈值达到预设时间，则判定发生束流Glitch；触发束流偏转控制信号，停止离子注入并记录Glitch位置。本发明显著提升了离子注入工艺的可靠性与产品良率。
天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目404次，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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