国家知识产权局信息显示,腾讯科技(深圳)有限公司申请一项名为“电子束光刻剂量分布的确定方法、装置、设备及存储介质”的专利,公开号CN121634720A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本申请提供了一种电子束光刻剂量分布的确定方法、装置、设备及存储介质,属于计算机技术和半导体制造领域。该方法先对低分辨率下的第一剂量分布进行迭代更新,由于第一剂量分布包括的元素数量少,使得每次更新过程的数据计算量少,进而缩短了计算耗时。而得到低分辨率下较优的第一剂量分布后,基于高分辨率来增加第一剂量分布所包含的元素数量,得到第二剂量分布,这样使得高分辨率下的第二剂量分布有了一个较好的初始值,在此基础上进行较少次的迭代更新即可得到高分辨率下较优的第二剂量分布,也即减少高分辨率下的迭代更新次数,进而缩短计算耗时。因此,该方法使得确定剂量分布的整体计算耗时缩短,提高了效率,降低了计算成本。
天眼查资料显示,腾讯科技(深圳)有限公司,成立于2000年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本200万美元。通过天眼查大数据分析,腾讯科技(深圳)有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目270次,财产线索方面有商标信息5000条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可574个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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