北京
国家知识产权局信息显示，长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“一种埋入式字线的制备方法”的专利，公开号CN121604398A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本公开提供了一种埋入式字线的制备方法。埋入式字线的制备方法包括提供衬底；在衬底中形成字线沟槽；在字线沟槽内形成栅介质层；在字线沟槽内填充金属层，金属层位于栅介质层的表面；在字线沟槽内形成含氮掩模层，含氮掩模层覆盖金属层的末端区域；以含氮掩模层为掩模，通过含氟气体回刻金属层，形成具有阶梯形状的金属层；在字线沟槽内填充半导体层，半导体层位于部分具有阶梯形状的金属层上；以含氮掩模层为掩模，回刻半导体层；在剩余的字线沟槽内形成覆盖层。本公开的制备方法可以在埋入式字线的末端形成理想的垂直结构。
天眼查资料显示，长鑫科技集团股份有限公司，成立于2016年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析，长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了18家企业，财产线索方面有商标信息236条，专利信息659条，此外企业还拥有行政许可34个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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