国家知识产权局信息显示,宁波晶钻科技股份有限公司申请一项名为“一种基于分布式天线阵列结构的MPCVD圆柱形反应器”的专利,公开号CN121593038A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请公开了一种基于分布式天线阵列结构的MPCVD圆柱形反应器,涉及微波等离子体化学气相沉积领域,所述反应器包括:功分器以及分布式天线阵列多端口腔体;功分器设置于分布式天线阵列多端口腔体上端,并通过腔体端口外导体连接;功分器,用于将输入的微波信号均匀分配得到多个相同的子微波信号;分布式天线阵列多端口腔体,采用圆柱形结构,用于接收多个相同的子微波信号,并在放电区域激励出固定的 TM 电磁模式。本申请有效提高微波能量利用效率。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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